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1. (WO2013054163) SYSTÈME D'ALIGNEMENT ET SYSTÈME DE GÉNÉRATION D'UN RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/054163    N° de la demande internationale :    PCT/IB2012/001713
Date de publication : 18.04.2013 Date de dépôt international : 05.09.2012
CIB :
H05G 2/00 (2006.01), H01S 3/223 (2006.01), H01S 3/23 (2006.01)
Déposants : GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400 Yokokurashinden Oyama-shi Tochigi 3238558 (JP) (Tous Sauf US).
MORIYA, Masato [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
WAKABAYASHI, Osamu [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MORIYA, Masato; (JP).
WAKABAYASHI, Osamu; (JP)
Données relatives à la priorité :
2011-224213 11.10.2011 JP
Titre (EN) ALIGNMENT SYSTEM AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'ALIGNEMENT ET SYSTÈME DE GÉNÉRATION D'UN RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME
Abrégé : front page image
(EN)An alignment system for a laser apparatus includes a guide laser device outputting a guide laser beam, an adjusting mechanism adjusting travel directions of the guide laser beam and a laser beam from the laser apparatus, a beam path combiner controlling travel directions of the laser beam and the guide laser beam to substantially coincide with each other, a first optical detection unit provided from the beam path combiner detecting the laser and guide laser beams, a first controller controlling the adjusting mechanism based on a first optical detection unit detection result, a beam steering unit downstream from the beam path combiner controlling travel directions of the laser and guide laser beams, a second optical detection unit downstream from the beam steering unit detecting the guide laser beam, and a second controller controlling the beam steering unit based on a second optical detection unit detection result.
(FR)Cette invention concerne un système d'alignement pour un appareil laser, comprenant un dispositif laser de guidage émettant un faisceau laser de guidage, et un mécanisme d'ajustement ajustant les directions de déplacement du faisceau laser de guidage et d'un faisceau laser issu de l'appareil laser. Ledit système d'alignement comprend en outre un combinateur de trajet de faisceau contrôlant les directions de déplacement du faisceau laser et du faisceau laser de guidage de façon à les faire sensiblement coïncider. Ledit système d'alignement comprend de plus une première unité de détection optique disposée en aval du combinateur de trajet de faisceau de façon à détecter les faisceaux laser et laser de guidage, et un premier contrôleur contrôlant le mécanisme d'ajustement sur la base d'un résultat de détection de la première unité de détection optique a first. Ledit système d'alignement comprend enfin une unité de pilotage de faisceau disposée en aval du combinateur de trajet de faisceau contrôlant les directions de déplacement des faisceaux laser et laser de guidage, une seconde unité de détection optique disposée en aval de l'unité de pilotage de faisceau de façon à détecter le faisceau laser de guidage, et un second contrôleur contrôlant l'unité de pilotage de faisceau sur la base d'un résultat de détection de la seconde unité de détection optique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)