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1. WO2013053692 - COLLECTEUR

Numéro de publication WO/2013/053692
Date de publication 18.04.2013
N° de la demande internationale PCT/EP2012/069939
Date du dépôt international 09.10.2012
CIB
G02B 5/09 2006.1
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
5Eléments optiques autres que les lentilles
08Miroirs
09Miroirs à facettes multiples ou polygonales
G03F 7/70
G21K 1/06 2006.1
GPHYSIQUE
21PHYSIQUE NUCLÉAIRE; TECHNIQUE NUCLÉAIRE
KTECHNIQUES NON PRÉVUES AILLEURS POUR MANIPULER DES PARTICULES OU DES RAYONNEMENTS IONISANTS; DISPOSITIFS D'IRRADIATION; MICROSCOPES À RAYONS GAMMA OU À RAYONS X
1Dispositions pour manipuler des particules ou des rayonnements ionisants, p.ex. pour focaliser ou pour modérer
06utilisant la diffraction, la réfraction ou la réflexion, p.ex. monochromateurs
G21K 1/16 2006.1
GPHYSIQUE
21PHYSIQUE NUCLÉAIRE; TECHNIQUE NUCLÉAIRE
KTECHNIQUES NON PRÉVUES AILLEURS POUR MANIPULER DES PARTICULES OU DES RAYONNEMENTS IONISANTS; DISPOSITIFS D'IRRADIATION; MICROSCOPES À RAYONS GAMMA OU À RAYONS X
1Dispositions pour manipuler des particules ou des rayonnements ionisants, p.ex. pour focaliser ou pour modérer
16utilisant des dispositifs polarisants, p.ex. pour obtenir un faisceau d'ions polarisés
CPC
B82Y 10/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
10Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
G02B 19/0023
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
19Condensers, ; e.g. light collectors or similar non-imaging optics
0004characterised by the optical means employed
0019having reflective surfaces only (e.g. louvre systems, systems with multiple planar reflectors)
0023at least one surface having optical power
G02B 19/0047
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
19Condensers, ; e.g. light collectors or similar non-imaging optics
0033characterised by the use
0047for use with a light source
G02B 19/0071
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
19Condensers, ; e.g. light collectors or similar non-imaging optics
0033characterised by the use
0047for use with a light source
0071adapted to illuminate a complete hemisphere or a plane extending 360 degrees around the source
G02B 19/0095
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
19Condensers, ; e.g. light collectors or similar non-imaging optics
0033characterised by the use
0095for use with ultra-violet radiation
G02B 27/286
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
28for polarising
286for controlling or changing the state of polarisation, e.g. transforming one polarisation state into another
Déposants
  • CARL ZEISS SMT GMBH [DE]/[DE]
Inventeurs
  • SÄNGER, Ingo
  • ZIMMERMANN, Jörg
  • KRÄHMER, Daniel
  • RUOFF, Johannes
  • MEIER, Martin
  • SCHLESENER, Frank
  • HENNERKES, Christoph
  • SINGER, Wolfgang
Mandataires
  • RAU, SCHNECK & HÜBNER
Données relatives à la priorité
10 2011 084 266.711.10.2011DE
61/545,62911.10.2011US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) COLLECTOR
(FR) COLLECTEUR
Abrégé
(EN) A collector (15) for a projection exposure apparatus (1) for micro-lithography comprises a plurality of reflective sections (24) which are embodied and arranged in such a way that they can be impinged upon during the focusing of radiation (14) from a first focus (26) into a second focus (27) with angles (f) of impingement in a predefined angular spectrum.
(FR) Collecteur (15) pour appareil (1) d'exposition par projection destiné à la microlithographie, comportant une pluralité de sections réfléchissantes (24) réalisées et agencées de façon à pouvoir être frappées pendant la focalisation d'un rayonnement (14) d'un premier foyer (26) vers un deuxième foyer (27), les angles (f) d'impact se situant dans un spectre angulaire prédéfini.
Documents de brevet associés
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