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1. (WO2013052364) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR UN SYSTÈME RÉGULATEUR DE RAPPORTS DE DÉBIT MULTICANAL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/052364    N° de la demande internationale :    PCT/US2012/057799
Date de publication : 11.04.2013 Date de dépôt international : 28.09.2012
CIB :
C23C 16/52 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01), G05D 11/13 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive Andover, Massachusetts 01801 (US) (Tous Sauf US).
DING, Junhua [US/US]; (US) (US only)
Inventeurs : DING, Junhua; (US)
Mandataire : KUSMER, Toby, H.; McDermott Will & Emery LLP 28 State Street Boston, MA 02109 (US)
Données relatives à la priorité :
13/252,363 04.10.2011 US
Titre (EN) METHOD OF AND APPARATUS FOR MULTIPLE CHANNEL FLOW RATIO CONTROLLER SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR UN SYSTÈME RÉGULATEUR DE RAPPORTS DE DÉBIT MULTICANAL
Abrégé : front page image
(EN)A four channel gas delivery system comprising: an inlet channel; four outlet channels; four flow sensors; four control valves, each valve being arranged so as to control the flow from the inlet channel through a corresponding one of the outlet channels; a flow ratio control system configured so as to control the flow from the inlet channel through the corresponding outlet channels so that the following flow ratios are controlled: (a) a first ratio of flows between the outlet channels of a first pair; (b) a second ratio of flows between the outlet channels of a second pair; and (c) a third ratio of flows between the first pair of outlet channels relative to the second pair of outlet channels; wherein the third ratio is controlled by generating at least one bias signal respectively applied to at least one pair of valves, the bias signal being a function of a predetermined set point of the third ratio and measured values of the third ratio.
(FR)La présente invention concerne un système de distribution de gaz à quatre canaux comportant: un canal d'entrée; quatre canaux de sortie; quatre capteurs de débit; quatre soupapes de commande, chacune étant agencée pour contrôler le débit provenant du canal d'entrée circulant dans un canal correspondant parmi les canaux de sortie ; un système régulateur de rapport de débit configuré pour contrôler le débit provenant du canal d'entrée circulant dans des canaux de sortie correspondants de sorte que les rapports de débits suivants soient contrôlés: (a) un premier rapport de débit entre les canaux de sortie d'une première paire ; (b) un second rapport de débit entre les canaux de sortie d'une seconde paire ; et (c) un troisième rapport de débit entre la première paire de canaux de sortie par rapport à la seconde paire de canaux de sortie ; le troisième rapport de débit étant contrôlé par la génération d'au moins un signal de polarisation appliqué respectivement à au moins une paire de soupapes, le signal de polarisation étant fonction d'une valeur de consigne prédéterminée du troisième rapport et de valeurs mesurées du troisième rapport.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)