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1. (WO2013052211) SYSTÈME D'ALIGNEMENT DE DISPOSITIF DE TRAITEMENT ÉLECTROCHIMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/052211    N° de la demande internationale :    PCT/US2012/052230
Date de publication : 11.04.2013 Date de dépôt international : 24.08.2012
CIB :
H01L 21/288 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US) (Tous Sauf US).
PUCH, Bryan [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : PUCH, Bryan; (US)
Mandataire : OHRINER, Kenneth, H.; Perkins Coie LLP P.O. Box 1208 Seattle, Washington 98111-1208 (US)
Données relatives à la priorité :
13/267,693 06.10.2011 US
Titre (EN) ELECTROCHEMICAL PROCESSOR ALIGNMENT SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'ALIGNEMENT DE DISPOSITIF DE TRAITEMENT ÉLECTROCHIMIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A substrate plating processor has a vessel on a support structure and a head support fixed in place relative to the support structure. A head having a rotor is attached to the head support. A lifter associated with the head support moves the head into and out of engagement with the vessel. An alignment assembly attachable to the rotor has at least one sensor adapted to detect a position of an inside surface of the vessel when the head is engaged with the vessel. The sensor may be a physical contact sensor positioned to contact the inside surface of the vessel.
(FR)Selon l'invention, un dispositif de traitement de placage de substrat comprend un récipient sur une structure de support et un support de tête fixé en place par rapport à la structure de support. Une tête comprenant un rotor est attachée au support de tête. Un élévateur associé au support de tête déplace la tête pour l'amener en contact et hors de contact avec le récipient. Un ensemble d'alignement pouvant être fixé au rotor comprend au moins un capteur conçu pour détecter une position d'une surface intérieure du récipient quand la tête est en contact avec le récipient. Le capteur peut être un capteur de contact physique positionné pour entrer en contact avec la surface intérieure du récipient.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)