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1. (WO2013051183) PROCÉDÉ DE DÉCOUPE DE PIÈCE ET MACHINE À SCIER À FIL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/051183    N° de la demande internationale :    PCT/JP2012/005419
Date de publication : 11.04.2013 Date de dépôt international : 29.08.2012
CIB :
B24B 27/06 (2006.01), B28D 5/04 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : Shin-Etsu Handotai Co.,Ltd. [JP/JP]; 6-2, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP) (Tous Sauf US).
ITOI, Yukio [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ITOI, Yukio; (JP)
Mandataire : YOSHIMIYA, Mikio; 1st Shitaya Bldg. 8F, 6-11, Ueno 7-chome, Taito-ku, Tokyo 1100005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2011-220093 04.10.2011 JP
Titre (EN) WORKPIECE CUTTING METHOD AND WIRE SAW
(FR) PROCÉDÉ DE DÉCOUPE DE PIÈCE ET MACHINE À SCIER À FIL
(JA) ワークの切断方法及びワイヤソー
Abrégé : front page image
(EN)The present invention is a workpiece cutting method having a wire wound around a plurality of grooved rollers and moving reciprocatingly in the axial direction, the wire supplying a slurry whilst a workpiece is pushed downward relative to the wire, the workpiece pressing against the wire and being cut into so as to cut the workpiece into a wafer shape. This workpiece cutting method includes the steps of: preparing a grooved roller so that the distance between the position of the bottom portion of the plurality of grooves in the grooved roller and the rotational axis of the grooved roller becomes gradually shorter from the wire-supplying end to the wire-recovery end; and cutting a workpiece so that the wire at the wire-supplying end is pressed against the workpiece before the wire at the wire-recovery end. In this way, when a workpiece is cut with a wire saw, the start of cutting into the workpiece is locally thin at the wire-recovery end at which the pitch is particularly narrow, and TTV deterioration can be suppressed.
(FR)La présente invention concerne un procédé de découpe de pièce présentant un fil enroulé autour d'une pluralité de rouleaux cannelés et se déplaçant en va-et-vient dans la direction axiale, le fil fournissant un coulis tandis qu'une pièce est poussée vers le bas par rapport au fil, la pièce appuyant contre le fil et étant découpée à l'intérieur de façon à découper la pièce dans une forme de plaquette. Ce procédé de découpe de pièce comprend les étapes consistant à : préparer un rouleau cannelé de sorte que la distance entre la position de la partie inférieure de la pluralité de cannelures dans le rouleau cannelé et l'axe rotatif du rouleau cannelé devient progressivement plus courte de l'extrémité d'alimentation en fil à l'extrémité de récupération du fil ; et découper une pièce de sorte que le fil à l'extrémité d'alimentation en fil est comprimé contre la pièce avant le fil au niveau de l'extrémité de récupération de fil. De cette manière, lorsqu'une pièce est découpée avec une machine à scier à fil, le début de la découpe dans la pièce est localement mince au niveau de l'extrémité de récupération de fil au niveau duquel le pas est particulièrement étroit, et une détérioration de la variation de l'épaisseur totale peut être évitée.
(JA) 本発明は、複数の溝付きローラに巻掛けされたワイヤを軸方向に往復走行させ、前記ワイヤにスラリを供給しつつ、ワークを相対的に押し下げて、往復走行する前記ワイヤに押し当てて切り込み送りし、前記ワークをウェーハ状に切断するワークの切断方法であって、前記溝付きローラの複数の溝の底部の位置と該溝付きローラの回転軸との間の距離がワイヤ供給側からワイヤ回収側に向かって徐々に短くなるように形成された前記溝付きローラを準備する工程と、前記ワイヤ供給側のワイヤが前記ワイヤ回収側のワイヤよりも先に前記ワークに押し当てられるようにして前記ワークを切断する工程とを含むことを特徴とするワークの切断方法である。これにより、ワイヤソーによるワークの切断において、特にピッチを狭くしたワイヤ回収側でワークの切り始めが局所的に薄くなり、TTVが悪化するのを抑制できる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)