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1. (WO2013051068) CAPTEUR INERTIEL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/051068    N° de la demande internationale :    PCT/JP2011/005644
Date de publication : 11.04.2013 Date de dépôt international : 07.10.2011
CIB :
G01P 15/08 (2006.01), G01C 19/5783 (2012.01), G01P 15/125 (2006.01)
Déposants : HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280 (JP) (Tous Sauf US).
TAKANO, Hideaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
GOTO, Yasushi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TAKUBO, Chisaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMANAKA, Kiyoko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NAITO, Takashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TAKANO, Hideaki; (JP).
GOTO, Yasushi; (JP).
TAKUBO, Chisaki; (JP).
YAMANAKA, Kiyoko; (JP).
NAITO, Takashi; (JP)
Mandataire : INOUE, Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) INERTIAL SENSOR
(FR) CAPTEUR INERTIEL
(JA) 慣性センサ
Abrégé : front page image
(EN)In order to highly accurately control a gap between a movable portion (101) and a fixed electrode (201) in a sensor that detects an inertial force operating in the direction perpendicular to a substrate surface, the sensor has a structure wherein a conductor layer (131) and a cover (200) are bonded using fired glass films (300, 301), and a plurality of particles of a filler (302) are contained in the fired glass films. The structure makes it possible to control the gap by means of the particle diameter of the filler, and the inertial sensor having higher accuracy and lower cost can be provided.
(FR)Selon la présente invention, afin de commander de manière hautement précise un intervalle entre une partie mobile (101) et une électrode fixe (201) dans un capteur qui détecte une force inertielle mise en œuvre dans la direction perpendiculaire à une surface de substrat, le capteur a une structure dans laquelle une couche de conducteur (131) et une couverture (200) sont liées à l'aide de films de verre cuits (300, 301), et une pluralité de particules d'une charge (302) sont contenues dans les films de verre cuits. La structure rend possible de commander l'intervalle au moyen du diamètre de particule de la charge, et on peut fournir un capteur inertiel ayant une précision supérieure et un coût réduit.
(JA) 基板面に垂直な方向に働く慣性力を検出するセンサにおいて、可動部(101)と固定電極(201)の間のギャップ制御を高精度で行うため、導電体層(131)と蓋(200)をガラス焼成塗膜(300、301)で接合し、ガラス焼成塗膜内に複数のフィラー(302)を含む構造とする。係る構造により、当該ギャップをフィラーの粒径で制御することが可能となり、より高精度またはより安価な慣性センサを提供しうる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)