WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2013050417) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION SANS CONTACT DE L'ÉPAISSEUR D'UN ÉCHANTILLON, SYSTÈME CORRESPONDANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/050417    N° de la demande internationale :    PCT/EP2012/069539
Date de publication : 11.04.2013 Date de dépôt international : 03.10.2012
CIB :
G01B 11/06 (2006.01), G01B 21/08 (2006.01), G01N 25/72 (2006.01)
Déposants : COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES [FR/FR]; 25, rue Leblanc Bâtiment Le Ponant D F-75015 Paris (FR)
Inventeurs : MELYUKOV, Dmitry; (FR).
THRO, Pierre-Yves; (FR)
Mandataire : COLLIN, Jerome; CABINET REGIMBEAU 20, rue de Chazelles F-75847 Paris Cedex 17 (FR)
Données relatives à la priorité :
1158905 03.10.2011 FR
Titre (EN) CONTACTLESS METHOD FOR DETERMINING THE THICKNESS OF A SAMPLE, CORRESPONDING SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION SANS CONTACT DE L'ÉPAISSEUR D'UN ÉCHANTILLON, SYSTÈME CORRESPONDANT
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a method for measuring a Δ thickness of a sample (1), characterized in that said method comprises the steps according to which - a source (2) of a heat radiation beam (20) excites (S1) the sample (1) in a periodic fashion at a frequency (f), thereby causing the sample (1) to undergo periodic thermal excitation; - a sensor (3) measures (S2) a periodic thermal response on the part of the sample, in response to the periodic thermal excitation; - a processor (4) determines (S3) a phase shift (φ) between the periodic thermal excitation and the periodic thermal response; wherein the source (2) excites the sample for a plurality of frequencies (f) and wherein the processor (4) determines a phase shift for each frequency (f), thereby determining a plurality of phase shifts (φ); - the processor (4) - determines (S4) a minimum phase shift φmin (φ) by using the plurality of phase shifts determined in said manner, and - determines (S5) the Δ thickness of the sample (1) using the following formula: Δ = r0*g(φmin) where r0 is the heat radiation beam ray, and g is a function that depends on the type of heat radiation beam (20). The invention also relates to a system for implementing the method.
(FR)L'invention concerne un procédé de mesure d'une épaisseur Δ d'un échantillon (1), caractérisé en ce qu'il comporte les étapes selon lesquelles - une source (2) d'un faisceau (20) de rayonnement de chauffage excite (S1) l'échantillon (1) de manière périodique à une fréquence (f), pour obtenir une excitation thermique périodique de l'échantillon (1); - un capteur (3) mesure (S2) une réponse thermique périodique de l'échantillon, en réponse à l'excitation thermique périodique; - un processeur (4) détermine (S3) un déphasage (φ) entre l'excitation thermique périodique et la réponse thermique périodique; la source (2) excitant l'échantillon pour une pluralité de fréquences (f) et le processeur (4) déterminant un déphasage pour chaque fréquence (f), et déterminant ainsi une pluralité de déphasages (φ); - le processeur (4) - détermine (S4) un minimum φmin du déphasage (φ) grâce à la pluralité de déphasages ainsi déterminée, et - détermine (S5) l'épaisseur Δ de l'échantillon (1) par une formule du type : Δ = r0*g(φmin) où r0 est le rayon du faisceau de rayonnement de chauffage, et g une fonction qui dépend du type de faisceau (20) de rayonnement de chauffage. L'invention concerne également un système de mise en œuvre du procédé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)