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1. (WO2013050081) PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN MOUVEMENT D'ÉLÉMENTS OPTIQUES DANS DES SYSTÈMES LITHOGRAPHIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/050081    N° de la demande internationale :    PCT/EP2011/067532
Date de publication : 11.04.2013 Date de dépôt international : 07.10.2011
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GmbH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
KWAN, Yim-Bun-Patrick [GB/DE]; (DE) (US Seulement).
LARO, Dick Antonius Hendrikus [NL/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : KWAN, Yim-Bun-Patrick; (DE).
LARO, Dick Antonius Hendrikus; (NL)
Mandataire : CARL ZEISS AG - Patentabteilung; Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) METHOD FOR CONTROLLING A MOTION OF OPTICAL ELEMENTS IN LITHOGRAPHY SYSTEMS
(FR) PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN MOUVEMENT D'ÉLÉMENTS OPTIQUES DANS DES SYSTÈMES LITHOGRAPHIQUES
Abrégé : front page image
(EN)A Method for controlling a vibrating optical element (2) of a lithographic system the optical element (2) having a predetermined number of degrees of freedom comprises: detecting a number of displacements of the optical element (2), each displacement corresponding to a degree of freedom, wherein the number of detected displacements is larger than the number of degrees of freedom; for each displacement according to a degree of freedom, generating a sensor signal (Sz1, Sz2, Sz3, Sz4) corresponding to a movement in a degree of freedom; wherein the optical element moves as a function of a rigid body transformation matrix (Ty), the optical element movement including a first type of movement and a second type of movement; and modifying the sensor signals (Sz1, Sz2, Sz3, Sz4) as a function of a modified transformation matrix, wherein the modified transformation matrix at least partially reduces at least one eigen mode or resonance of one of the first type of movements or the second type of movements.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant de commander un élément optique vibrant (2) d'un système lithographique, ledit élément optique (2) comportant un nombre prédéterminé de degrés de liberté. Ce procédé comprend les étapes consistant à : détecter le nombre de déplacements de l'élément optique (2), chaque déplacement correspondant à un degré de liberté, le nombre de déplacements détectés étant supérieur au nombre de degrés de liberté ; pour chaque déplacement selon un degré de liberté, produire un signal de capteur (Sz1, Sz2, Sz3, Sz4) correspondant à un déplacement dans un degré de liberté ; l'élément optique se déplace en fonction d'une matrice de transformation d'un corps rigide (Ty), le déplacement de l'élément optique comprenant un premier type de mouvement et un second type de mouvement ; et modifier les signaux de capteur (Sz1, Sz2, Sz3, Sz4) en fonction d'une matrice de transformation modifiée, ladite matrice de transformation modifiée permettant de réduire au moins partiellement au moins un mode caractéristique ou une résonance du premier ou du second type de mouvements.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)