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1. (WO2013048016) UNITÉ DE SUPPORT DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNITÉ DE SUPPORT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2013/048016 N° de la demande internationale : PCT/KR2012/006777
Date de publication : 04.04.2013 Date de dépôt international : 24.08.2012
CIB :
H01L 21/683 (2006.01) ,H01L 21/205 (2006.01) ,H01L 21/3065 (2006.01) ,C23C 16/458 (2006.01)
Déposants : KIM, Hai-Won[KR/KR]; KR (UsOnly)
CHO, Sung-Kil[KR/KR]; KR (UsOnly)
EUGENE TECHNOLOGY CO., LTD.[KR/KR]; 42 Chugye-ro, Yangji-myeon, Cheoin-gu Yongin-si, Gyeonggi-do 449-824, KR (AllExceptUS)
Inventeurs : KIM, Hai-Won; KR
CHO, Sung-Kil; KR
Mandataire : JEONG, Seong-Jin; (2nd Floor, ACE HIGH-END TOWER 3, Gasan-Dong) Rm. 204, 145 Gasan Digital 1-ro, Gumchun-gu Seoul 153-787, KR
Données relatives à la priorité :
10-2011-009673026.09.2011KR
Titre (EN) SUBSTRATE SUPPORTING UNIT AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING SUBSTRATE SUPPORTING UNIT
(FR) UNITÉ DE SUPPORT DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNITÉ DE SUPPORT DE SUBSTRAT
(KO) 기판지지유닛 및 기판처리장치, 그리고 기판지지유닛을 제조하는 방법
Abrégé : front page image
(EN) According to one embodiment of the present invention, a substrate supporting unit comprises: a susceptor on top of which a substrate is placed; one or more heat-absorbing members which are placed on top of the susceptor, are switched to a mounting position for thermal contact with the susceptor and a release position for removal from the top of the susceptor, and absorb heat from the susceptor in the mounting position; and an edge ring which has a plurality of securing slots where the heat-absorbing members are selectively inserted and secured.
(FR) Selon un mode de réalisation de la présente invention, une unité de support de substrat comprend : un suscepteur sur lequel est placé un substrat ; un ou plusieurs éléments d'absorption de chaleur qui sont placés sur le suscepteur, sont commutés dans une position de montage pour être en contact thermique avec le suscepteur et dans une position de dégagement en vue d'être retirés du dessus du suscepteur, et absorbent la chaleur provenant du suscepteur dans la position de montage ; et un anneau de bordure qui possède une pluralité de fentes de fixation où les éléments d'absorption de chaleur sont sélectivement introduits et fixés.
(KO) 본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판지지유닛은 상부에 기판이 놓여지는 서셉터; 상기 서셉터의 상부에 놓여 상기 서셉터와 열접촉(thermal contact)하는 장착위치 및 상기 서셉터의 상부로부터 제거되는 해제위치로 전환되며, 상기 장착위치에서 상기 서셉터의 열을 흡수하는 하나 이상의 열흡수부재들; 그리고 상기 열흡수부재들이 선택적으로 삽입고정되는 복수의 고정슬롯들을 가지는 에지링을 포함한다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)