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1. (WO2013047753) DISPOSITIF DE MOULAGE, PROCÉDÉ DE MOULAGE, MOULE D'IMPRESSION ET PROCÉDÉ D'IMPRESSION UTILISANT LE MOULE D'IMPRESSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/047753    N° de la demande internationale :    PCT/JP2012/075094
Date de publication : 04.04.2013 Date de dépôt international : 28.09.2012
CIB :
B29C 59/02 (2006.01), B29C 51/10 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : SCIVAX CORPORATION [JP/JP]; Kanagawa Sciencepark East 502, 3-2-1, Sakado, Takatsu-ku, Kawasaki-shi Kanagawa 2130012 (JP) (Tous Sauf US).
KAWAGUCHI Hirosuke [JP/JP]; (JP) (US only).
HAGINO Tatsuya [JP/JP]; (JP) (US only).
TANAKA Satoru [JP/JP]; (JP) (US only)
Inventeurs : KAWAGUCHI Hirosuke; (JP).
HAGINO Tatsuya; (JP).
TANAKA Satoru; (JP)
Mandataire : OKUDA Noritsugu; 1-2354-430, Yurigaoka, Moriya-shi Ibaraki 3020110 (JP)
Données relatives à la priorité :
2011-215524 29.09.2011 JP
2012-131837 11.06.2012 JP
Titre (EN) MOLDING DEVICE, MOLDING METHOD, IMPRINTING MOLD, AND IMPRINTING METHOD USING IMPRINTING MOLD
(FR) DISPOSITIF DE MOULAGE, PROCÉDÉ DE MOULAGE, MOULE D'IMPRESSION ET PROCÉDÉ D'IMPRESSION UTILISANT LE MOULE D'IMPRESSION
(JA) 成形装置及び成形方法、インプリント用型、並びに当該インプリント用型を用いたインプリント方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided are a molding device and a molding method which are capable of molding a three-dimensional shape in a film having a fine pattern, an imprinting mold capable of transferring a fine pattern to the surface of a three-dimensional shape, and an imprinting method using the imprinting mold. A molding device for molding, in a film (20) having a fine pattern (20a), a three-dimensional shape with a thickness exceeding the thickness of the film (20) is configured from a pressurization unit (3) which comprises a pressurization chamber (30) for pressurizing the film (20) by a fluid from the fine pattern (20a) side, and a pressurization means (35) for adjusting the pressure of the fluid in the pressurization chamber (30), a pressure receiving stage (32) which has a pressure receiving surface (321) formed in the three-dimensional shape and supports the film (20), and a temperature adjusting unit which adjusts the temperature of the film (20). Using this molding device, the three-dimensional shape is molded in the film (20) on which the fine pattern is formed. This molded three-dimensional shape is applied as an imprinting mold to imprint technology.
(FR)La présente invention se rapporte à un dispositif de moulage et à un procédé de moulage qui peuvent mouler une forme tridimensionnelle dans un film ayant un motif fin, à un moule d'impression pouvant transférer un motif fin sur la surface d'une forme tridimensionnelle et à un procédé d'impression utilisant le moule d'impression. Un dispositif de moulage destiné à mouler, dans un film (20) ayant un motif fin (20a), une forme tridimensionnelle d'une épaisseur dépassant l'épaisseur du film (20) est configuré à partir d'une unité de mise sous pression (3) qui comprend une chambre de mise sous pression (30) destinée à mettre le film sous pression (20) par un fluide provenant du côté motif fin (20a) et un moyen de mise sous pression (35) destiné à ajuster la pression du fluide dans la chambre de mise sous pression(30), d'un niveau de réception de pression (32) qui comporte une surface de réception de pression (321) formée dans la forme tridimensionnelle et supporte le film (20), et d'une unité d'ajustement de température qui ajuste la température du film (20). A l'aide de ce dispositif de moulage, la forme tridimensionnelle est moulée dans le film (20) sur lequel est formé le motif fin. Cette forme tridimensionnelle moulée est appliquée comme moule d'impression à la technologie d'impression.
(JA) 微細パターンを有するフィルムに立体形状を成形することができる成形装置及び成形方法、立体形状の表面に微細パターンを転写することができるインプリント用型、並びに当該インプリント用型を用いたインプリント方法を提供する。微細パターン20aを有するフィルム20に、当該フィルム20の厚みを超える立体形状を成形するための成形装置であって、フィルム20を微細パターン20a側から流体によって加圧するための加圧室30と、当該加圧室30内の流体の圧力を調節する加圧手段35と、を有する加圧部3と、立体形状からなる受圧面321を有し、フィルム20を支持する受圧ステージ32と、フィルム20の温度を調節する温調部と、で構成される。この成形装置を用いて、微細パターンが形成されたフィルム20に立体形状を成型する。また、これをインプリント用型として、インプリント技術に適用する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)