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1. WO2012131983 - DISPOSITIF DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE, CURSEUR DE TÊTE MAGNÉTIQUE UTILISANT UN TEL DISPOSITIF, ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Numéro de publication WO/2012/131983
Date de publication 04.10.2012
N° de la demande internationale PCT/JP2011/058237
Date du dépôt international 31.03.2011
CIB
G11B 21/21 2006.01
GPHYSIQUE
11ENREGISTREMENT DE L'INFORMATION
BENREGISTREMENT DE L'INFORMATION BASÉ SUR UN MOUVEMENT RELATIF ENTRE LE SUPPORT D'ENREGISTREMENT ET LE TRANSDUCTEUR
21Dispositions des têtes, non spécifiques du procédé d'enregistrement ou de reproduction
16Supports de têtes; Supports des douilles pour les têtes embrochables
20agissant pendant que la tête est en position de travail, mais immobile, ou permettant de petits déplacements pour suivre les irrégularités de la surface du support d'enregistrement
21avec des dispositions pour maintenir un écartement désiré entre la tête et le support d'enregistrement, p.ex. maintien dynamique de l'écartement à l'aide d'un fluide, à l'aide d'un coulisseau
CPC
G11B 5/6011
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
5Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
48Disposition or mounting of heads ; or head supports; relative to record carriers
58with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
60Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
6005Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
6011Control of flying height
H01J 2237/2605
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
26Electron or ion microscopes
2602Details
2605operating at elevated pressures, e.g. atmosphere
H01J 2237/2809
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
26Electron or ion microscopes
28Scanning microscopes
2809characterised by the imaging problems involved
H01J 37/28
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
28with scanning beams
Déposants
  • 株式会社日立製作所 HITACHI, LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 徐 鈞国 XU Junguo [CN]/[JP] (UsOnly)
  • 清水 裕樹 SHIMIZU Yuki [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 古川 勝 FURUKAWA Masaru [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 小出 晃 KOIDE Akira [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 飯塚 亜紀子 IIZUKA Akiko [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 青野 宇紀 AONO Takanori [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 吉村 保廣 YOSHIMURA Yasuhiro [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • 徐 鈞国 XU Junguo
  • 清水 裕樹 SHIMIZU Yuki
  • 古川 勝 FURUKAWA Masaru
  • 小出 晃 KOIDE Akira
  • 飯塚 亜紀子 IIZUKA Akiko
  • 青野 宇紀 AONO Takanori
  • 吉村 保廣 YOSHIMURA Yasuhiro
Mandataires
  • ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.
Données relatives à la priorité
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) ELECTRON MICROSCOPE DEVICE, MAGNETIC HEAD SLIDER USING SAME, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
(FR) DISPOSITIF DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE, CURSEUR DE TÊTE MAGNÉTIQUE UTILISANT UN TEL DISPOSITIF, ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 電子顕微鏡装置及びそれを使用した磁気ヘッドスライダ並びにその製造方法
Abrégé
(EN)
Provided is an electron microscope device with which it is possible to discharge electrons at a low voltage, and which measures an object in an environment wherein vacuum is not required. The electron microscope device is configured to comprise: an electron discharge unit which emits an electron beam, and which is formed on a thin film as a member which faces the object; an electron beam direction control unit which guides the electron beam which is emitted from the electron discharge unit in a prescribed direction; and an electron detection unit which detects electrons emitted from the object with respect to the electron beam which is emitted from the electron discharge unit and guided by a magnetic field control unit. The electron microscope device measures the object with an electron degree of freedom gap of 60nm or less.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif de microscope électronique grâce auquel il est possible de décharger des électrons à une basse tension, et qui mesure un objet dans un environnement ne nécessitant pas un vide. Le dispositif de microscope électronique est configuré pour comporter: une unité de décharge d'électrons qui émet un faisceau d'électrons, et qui est formée sur une couche mince sous la forme d'un élément qui est en regard de l'objet ; une unité de commande d'orientation de faisceau d'électrons qui guide le faisceau d'électrons qui est émis depuis l'unité de décharge de faisceau d'électrons dans une direction prescrite ; et une unité de détection d'électrons qui détecte des électrons émis depuis l'objet par rapport au faisceau d'électrons qui est émis depuis l'unité de décharge d'électrons et guidés par une unité de commande de champ magnétique. Le dispositif de microscope électronique mesure l'objet avec un entrefer à degré de liberté électronique égal ou inférieur à 60 nm.
(JA)
低電圧で電子放出することができ、かつ真空を必要としない雰囲気での対象物を測定する電子顕微鏡装置を提供する。 電子顕微鏡装置は、対象物に対向する部材に薄膜によって形成された、電子線を発生する電子放出ユニットと、電子放出ユニットから発生された電子線を所定の方向へ案内する電子線方向制御ユニットと、電子放出ユニットから発生し磁場制御ユニットによって案内された電子線に対して、対象物から発生した電子を検出する電子検出ユニットを有して構成され、対象物に対して電子自由行程60nm以下の間隔で計測する。
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