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1. WO2012072090 - PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'UN BORD D'UNE DISTRIBUTION D'INTENSITÉ

Numéro de publication WO/2012/072090
Date de publication 07.06.2012
N° de la demande internationale PCT/EP2010/007219
Date du dépôt international 29.11.2010
CIB
G01J 9/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
9Mesure du déphasage des rayons lumineux; Recherche du degré de cohérence; Mesure de la longueur d'onde des rayons lumineux
02par des méthodes interférométriques
G03F 7/20 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20Exposition; Appareillages à cet effet
G01M 11/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
MTEST D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES OU DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; TEST DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
11Test des appareils optiques; Test des structures ou des ouvrages par des méthodes optiques, non prévu ailleurs
02Test des propriétés optiques
CPC
G01J 9/0215
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
9Measuring optical phase difference
02by interferometric methods
0215by shearing interferometric methods
G03F 7/706
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
70483Information management, control, testing, and wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
70591Testing optical components
706Aberration measurement
Déposants
  • CARL ZEISS SMT GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • HAIDNER, Helmut [DE]/[DE] (UsOnly)
  • HOCH, Rainer [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventeurs
  • HAIDNER, Helmut
  • HOCH, Rainer
Mandataires
  • SUMMERER, Christian
Données relatives à la priorité
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD OF DETERMINING A BORDER OF AN INTENSITY DISTRIBUTION
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'UN BORD D'UNE DISTRIBUTION D'INTENSITÉ
Abrégé
(EN)
A method of determining a border (50) of an intensity distribution (48) on a detection surface (42) is provided, the intensity distribution (48) being generated by electromagnetic radiation after having passed through an optical system (12) and being recorded by a wave front measuring apparatus (10) for measuring a wave front distribution of the radiation. The intensity distribution (48) is blurred in the region of the border (50) due to spurious radiation (32b, 32c, 32d). The method comprises the steps of: identifying a parameter relating to the configuration of the wave front measuring apparatus (10) and influencing the generation of the spurious radiation, determining an influence of the identified parameter on the blurring of the recorded intensity distribution (48), and determining the border (50) of the intensity distribution from the recorded intensity distribution (48) taking the determined influence on the blurring into account.
(FR)
L'invention porte sur un procédé de détermination d'un bord (50) d'une distribution d'intensité (48) sur une surface de détection (42), la distribution d'intensité (48) étant générée par un rayonnement électromagnétique après son passage à travers un système optique (12) et étant enregistrée par un appareil de mesure de front d'onde (10) servant à mesurer une distribution de front d'onde du rayonnement. La distribution d'intensité (48) est rendue floue dans la région du bord (50) en raison d'un rayonnement parasite (32b, 32c, 32d). Le procédé comprend les étapes consistant à : identifier un paramètre relatif à la configuration de l'appareil de mesure de front d'onde (10) et influençant la génération du rayonnement parasite, déterminer une influence du paramètre identifié sur le flou de la distribution d'intensité (48) enregistrée, et déterminer le bord (50) de la distribution d'intensité à partir de la distribution d'intensité (48) enregistrée en tenant compte de l'influence déterminée sur le flou.
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