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1. WO2012047071 - PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION D'UN NANOGÉNÉRATEUR SOUPLE ET NANOGÉNÉRATEUR SOUPLE FABRIQUÉ PAR CELUI-CI

Numéro de publication WO/2012/047071
Date de publication 12.04.2012
N° de la demande internationale PCT/KR2011/007473
Date du dépôt international 10.10.2011
CIB
H02N 2/18 2006.01
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
NMACHINES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
2Machines électriques en général utilisant l'effet piézo-électrique, l'électrostriction ou la magnétostriction
18fournissant une sortie électrique à partir d'une entrée mécanique, p.ex. générateurs
H01L 41/312 2013.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
22Procédés ou appareils spécialement adaptés à l'assemblage, la fabrication ou au traitement de dispositifs piézo-électriques ou électrostrictifs, ou de leurs parties constitutives
31Application de parties ou de corps piézo-électriques ou électrostrictifs sur un élément électrique ou sur un autre support
312par laminage ou collage de corps piézo-électriques ou électrostrictifs
CPC
B81B 2201/032
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
03Microengines and actuators
032Bimorph and unimorph actuators, e.g. piezo and thermo
B81C 1/00357
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
00349Creating layers of material on a substrate
00357involving bonding one or several substrates on a non-temporary support, e.g. another substrate
B81C 2201/0194
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
2201Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
01in or on a substrate
0174for making multi-layered devices, film deposition or growing
0191Transfer of a layer from a carrier wafer to a device wafer
0194the layer being structured
H01L 41/312
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
22Processes or apparatus specially adapted for the assembly, manufacture or treatment of piezo-electric or electrostrictive devices or of parts thereof
31Applying piezo-electric or electrostrictive parts or bodies onto an electrical element or another base
312by laminating or bonding of piezo-electric or electrostrictive bodies
H02N 2/186
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction
18producing electrical output from mechanical input, e.g. generators
186Vibration harvesters
Déposants
  • 한국과학기술원 KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY [KR]/[KR] (AllExceptUS)
  • 이건재 LEE, Keon Jae [KR]/[KR] (UsOnly)
  • 박귀일 PARK, Kwi Il [KR]/[KR] (UsOnly)
  • 구민 KOO, Min [KR]/[KR] (UsOnly)
  • 황건태 HWANG, Geon Tae [KR]/[KR] (UsOnly)
Inventeurs
  • 이건재 LEE, Keon Jae
  • 박귀일 PARK, Kwi Il
  • 구민 KOO, Min
  • 황건태 HWANG, Geon Tae
Mandataires
  • 김강욱 KIM, Kangwook
Données relatives à la priorité
10-2010-009833108.10.2010KR
10-2010-011165110.11.2010KR
10-2011-006920313.07.2011KR
10-2011-008243718.08.2011KR
Langue de publication coréen (KO)
Langue de dépôt coréen (KO)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR MANUFACTURING FLEXIBLE NANOGENERATOR AND FLEXIBLE NANOGENERATOR MANUFACTURED THEREBY
(FR) PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION D'UN NANOGÉNÉRATEUR SOUPLE ET NANOGÉNÉRATEUR SOUPLE FABRIQUÉ PAR CELUI-CI
(KO) 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터
Abrégé
(EN)
Provided are a method for manufacturing a flexible nanogenerator and a flexible nanogenerator manufactured thereby. The method for manufacturing the flexible nanogenerator of the present invention includes the steps of: laminating a piezoelectric element layer having a piezoelectric material layer on a sacrificial substrate; crystallizing the piezoelectric element layer by thermally processing the piezoelectric element layer at a high temperature; separating unit piezoelectric elements from the sacrificial substrate by removing the sacrificial substrate; and transferring the separated unit piezoelectric elements onto a flexible substrate. The method for manufacturing the flexible nanogenerator and the flexible nanogenerator manufactured thereby of the present invention can continuously produce electric power from the movement of a human body and the like by producing electric power according to the bending of the substrate.
(FR)
L'invention concerne un procédé pour la fabrication d'un nanogénérateur souple et un nanogénérateur souple fabriqué par celui-ci. Le procédé de fabrication du nanogénérateur souple de la présente invention comprend les étapes de : stratification d'une couche d'élément piézoélectrique présentant une couche de matériau piézoélectrique sur un substrat sacrificiel; cristallisation de la couche d'élément piézoélectrique par traitement thermique de ladite couche à haute température; séparation d'éléments piézoélectriques unitaires du substrat sacrificiel par élimination du substrat sacrificiel; et transfert des éléments piézoélectriques unitaires séparés sur un substrat souple. Grâce au procédé de fabrication du nanogénérateur souple et au nanogénérateur souple fabriqué par celui-ci, selon la présente invention, il est possible de produire de l'électricité de manière continue à partir du mouvement d'un corps humain et analogue en produisant de l'électricité en fonction de la courbure du substrat.
(KO)
플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터가 제공된다. 본 발명에 따른 플렉서블 나노제너레이터 제조방법은 희생 기판상에 압전물질층을 포함하는 압전소자층을 적층하는 단계; 상기 압전소자층을 고온에서 열처리하여 결정화하는 단계; 상기 희생 기판을 제거하여 상기 기판으로부터 단위 압전소자들을 분리하는 단계; 및 상기 분리된 단위 압전소자를 플렉서블 기판에 전사하는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 따라 제조된 플렉서블 나노제너레이터는 기판의 구부러짐에 따라 전력이 생산되므로, 인체의 움직임 등에 따라 지속적인 전력생산이 가능하다는 장점이 있다.
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