Traitement en cours

Veuillez attendre...

Paramétrages

Paramétrages

Aller à Demande

1. WO2012046944 - APPAREIL À PELLICULER DESTINÉ AU TRAITEMENT D'UN SEMI-CONDUCTEUR

Numéro de publication WO/2012/046944
Date de publication 12.04.2012
N° de la demande internationale PCT/KR2011/004771
Date du dépôt international 29.06.2011
CIB
H01L 21/027 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
027Fabrication de masques sur des corps semi-conducteurs pour traitement photolithographique ultérieur, non prévue dans le groupe H01L21/18 ou H01L21/34187
G03F 7/26 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
26Traitement des matériaux photosensibles; Appareillages à cet effet
CPC
B05C 1/083
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
CAPPARATUS FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
1Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
04for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length
08using a roller ; or other rotating member which contacts the work along a generating line
0826the work being a web or sheets
083being passed between the coating roller and one or more backing rollers
B05C 1/0834
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
CAPPARATUS FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
1Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
04for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length
08using a roller ; or other rotating member which contacts the work along a generating line
0826the work being a web or sheets
0834the coating roller co-operating with other rollers, e.g. dosing, transfer rollers
Déposants
  • 주식회사 코엠에스 CO-MS CO., LTD. [KR]/[KR] (AllExceptUS)
  • 황선오 HWANG, Sun-Oh [KR]/[KR] (UsOnly)
Inventeurs
  • 황선오 HWANG, Sun-Oh
Mandataires
  • 정강원 JEONG, Kang-Won
Données relatives à la priorité
10-2010-009619904.10.2010KR
Langue de publication coréen (KO)
Langue de dépôt coréen (KO)
États désignés
Titre
(EN) FILM COATING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR PROCESS
(FR) APPAREIL À PELLICULER DESTINÉ AU TRAITEMENT D'UN SEMI-CONDUCTEUR
(KO) 반도체 제조용 필름 코팅장치
Abrégé
(EN)
The present invention relates to a film coating apparatus. The film coating apparatus includes: a main roller (10) contacting the other surface of a film; a coating roller (20) parallel and adjacent to the main roller (10) to contact one surface of the film; a coating solution supply roller (30) parallel and adjacent and spaced from the coating roller (20) on a side opposite to that of the main roller (10), the coating solution supply roller (30) applying a coating solution on a surface of the coating roller (20) after the coating solution is smeared on a surface of the coating solution supply roller (30) in a state where a lower portion of the coating solution supply roller (30) is immersed into a coating solution reservoir (39); a film guide part (40) guiding the film into a gap between the main roller (10) and the coating roller (20); a curing unit (50) curing the film on which the coating solution is applied while passing through the gap between the main roller (10) and the coating roller (20) at a high temperature; and a conveyor (60) transferring the film to pass through the curing unit (40).
(FR)
La présente invention concerne un appareil à pelliculer. L'appareil à pelliculer comprend : un rouleau principal (10) entrant en contact avec une surface d'un film ; un rouleau de revêtement (20) parallèle et adjacent au rouleau principal (10) afin d'entrer en contact avec l'autre surface du film ; un rouleau d'alimentation en solution de revêtement (30) parallèle et adjacent au rouleau de revêtement (20) et espacé dudit rouleau de revêtement (20) sur un côté opposé à celui du rouleau principal (10), le rouleau d'alimentation en solution de revêtement (30) appliquant une solution de revêtement sur une surface du rouleau de revêtement (20) après que la solution de revêtement a été étalée sur une surface dudit rouleau d'alimentation en solution de revêtement (30) alors qu'une partie inférieure de ce dernier était plongée dans un réservoir de solution de revêtement (39) ; une partie de guidage de film (40) guidant le film dans un espace entre le rouleau principal (10) et le rouleau de revêtement (20) ; une unité de durcissement (50) faisant durcir le film sur lequel la solution de revêtement est appliquée tandis qu'il passe à travers l'espace entre le rouleau principal (10) et le rouleau de revêtement (20) à une température élevée ; ainsi qu'un transporteur (60) transférant le film de manière à ce qu'il passe à travers l'unité de durcissement (40).
(KO)
본 발명은 필름 코팅장치에 있어서, 필름의 타면과 접면되는 메인롤러(10)와; 상기 메인롤러(10)와 평행하게 인접하여 구비되고 필름의 일면과 접면되는 도포용 롤러(20)와; 상기 메인롤러(10)의 반대편에 상기 도포용 롤러(20)와 평행하게 인접하여 이격되어 구비되고, 코팅액 리져버(39)에 하부가 잠긴상태에서 코팅액을 표면에 묻힌 후 상기 도포용 롤러(20)의 표면에 바르는 코팅액 공급롤러(30)와; 필름을 상기 메인롤러(10)와 롤러(20) 사이의 틈으로 안내하는 필름 가이드부(40)와; 상기 메인롤러(10)와 도포용 롤러(20) 사이를 통과하면서 코팅액이 도포되는 필름을 고온으로 경화시키는 경화수단부(50)와; 필름이 경화수단부(40)를 통과하게 이송시키는 컨베이어(60);로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 필름 코팅장치에 관한 것이다.
Également publié en tant que
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international