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1. WO2012046501 - CAPTEUR DÉTECTEUR D'HUMIDITÉ ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION

Numéro de publication WO/2012/046501
Date de publication 12.04.2012
N° de la demande internationale PCT/JP2011/068082
Date du dépôt international 08.08.2011
CIB
G01N 27/22 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
27Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques
02en recherchant l'impédance
22en recherchant la capacité
CPC
G01N 1/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
1Sampling; Preparing specimens for investigation
G01N 2201/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
2201Features of devices classified in G01N21/00
G01N 27/223
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
02by investigating the impedance of the material
22by investigating capacitance
223for determining moisture content, e.g. humidity
H01L 21/00
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
Y10T 29/49
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
29Metal working
49Method of mechanical manufacture
Déposants
  • アルプス電気株式会社 ALPS ELECTRIC CO., LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 遁所 淳 TONDOKORO, Atsushi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 和賀 聡 WAGA, Satoshi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 佐藤 崇 SATO, Takashi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 横山 進矢 YOKOYAMA, Shinya [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 森田 澄人 MORITA, Sumihito [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • 遁所 淳 TONDOKORO, Atsushi
  • 和賀 聡 WAGA, Satoshi
  • 佐藤 崇 SATO, Takashi
  • 横山 進矢 YOKOYAMA, Shinya
  • 森田 澄人 MORITA, Sumihito
Mandataires
  • 青木 宏義 AOKI, Hiroyoshi
Données relatives à la priorité
2010-22466004.10.2010JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) HUMIDITY DETECTION SENSOR AND PROCESS FOR PRODUCTION THEREOF
(FR) CAPTEUR DÉTECTEUR D'HUMIDITÉ ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
(JA) 湿度検出センサ及びその製造方法
Abrégé
(EN)
The purpose is to enable the smooth penetration of water molecules into the inside of a humidity-sensitive film and to improve the moisture resistance of an upper electrode in a humidity detection sensor which comprises the humidity-sensitive film intercalated between a lower electrode and the upper electrode. The humidity detection sensor comprises a substrate (10), a lower electrode (21) which is arranged on the substrate (10), an upper electrode (23) which is arranged opposite to the lower electrode (21), a humidity-sensitive film (22) which is formed at least between the lower electrode (21) and the upper electrode (23) and of which the dielectric constant alters in accordance with humidity, and a protective film (24) which is so arranged as to cover the upper electrode (23), wherein the upper electrode (23) and the protective film (24) have an opening (25) in which a portion of the humidity-sensitive film (22) is exposed to the outside, and the humidity-sensitive film (22) is arranged at a position which is higher than at least the lower surface of the protective film (24) in the opening (25).
(FR)
L'objectif de la présente invention est de permettre la pénétration en douceur des molécules d'eau à l'intérieur d'un film sensible à l'humidité et d'améliorer la résistance à l'humidité d'une électrode supérieure dans un capteur détecteur d'humidité qui comprend ledit film sensible à l'humidité intercalé entre une électrode inférieure (21) et l'électrode supérieure. Le capteur détecteur d'humidité comprend un substrat (10), une électrode inférieure (21) qui est formée sur le substrat (10), une électrode supérieure (23) qui est formée à l'opposé de l'électrode inférieure (21), un film sensible à l'humidité (22) qui est formé au moins entre l'électrode inférieure (21) et l'électrode supérieure (23) et dont la constante diélectrique varie avec l'humidité, et un film protecteur (24) qui est formé de manière à recouvrir l'électrode supérieure (23). L'électrode supérieure (23) et le film protecteur (24) comportent une ouverture (25) par laquelle une partie du film sensible à l'humidité (22) est exposée à l'extérieur, et le film sensible à l'humidité (22) se trouve en une position qui est plus haute au moins que la surface inférieure du film protecteur (24) dans l'ouverture (25).
(JA)
 感湿膜を下部電極と上部電極で挟持する湿度検出センサにおいて、水分子を円滑に感湿膜の内部に通過させると共に、上部電極の耐湿性を向上させることを目的の一とする。基板(10)上に設けられた下部電極(21)と、下部電極(21)と対向して設けられた上部電極(23)と、下部電極(21)と上部電極(23)の間に少なくとも形成され湿度に応じて誘電率が変化する感湿膜(22)と、上部電極(23)を覆うように設けられた保護膜(24)とを具備し、上部電極(23)及び保護膜(24)は、感湿膜(22)が部分的に外界に露出する開口部(25)を有し、開口部(25)において、感湿膜(22)を、少なくとも保護膜(24)の下面の位置より高い位置まで設ける。
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