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1. WO2012019731 - SYNCHRONISATION DE HAUTE PRÉCISION POUR LASERS À DÉCHARGE DE GAZ PULSÉ

Numéro de publication WO/2012/019731
Date de publication 16.02.2012
N° de la demande internationale PCT/EP2011/003887
Date du dépôt international 03.08.2011
CIB
H01S 3/097 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
SDISPOSITIFS UTILISANT LE PROCÉDÉ D'AMPLIFICATION DE LA LUMIÈRE PAR ÉMISSION STIMULÉE DE RAYONNEMENT POUR AMPLIFIER OU GÉNÉRER DE LA LUMIÈRE; DISPOSITIFS UTILISANT L’ÉMISSION STIMULÉE DE RAYONNEMENT ÉLECTROMAGNÉTIQUE DANS DES GAMMES D’ONDES AUTRES QU'OPTIQUES
3Lasers, c. à d. dispositifs utilisant l'émission stimulée de rayonnement électromagnétique dans la gamme de l’infrarouge, le visible ou l’ultraviolet
09Procédés ou appareils pour l'excitation, p.ex. pompage
097par décharge dans le gaz d'un laser à gaz
H01S 3/225 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
SDISPOSITIFS UTILISANT LE PROCÉDÉ D'AMPLIFICATION DE LA LUMIÈRE PAR ÉMISSION STIMULÉE DE RAYONNEMENT POUR AMPLIFIER OU GÉNÉRER DE LA LUMIÈRE; DISPOSITIFS UTILISANT L’ÉMISSION STIMULÉE DE RAYONNEMENT ÉLECTROMAGNÉTIQUE DANS DES GAMMES D’ONDES AUTRES QU'OPTIQUES
3Lasers, c. à d. dispositifs utilisant l'émission stimulée de rayonnement électromagnétique dans la gamme de l’infrarouge, le visible ou l’ultraviolet
14caractérisés par le matériau utilisé comme milieu actif
22à gaz
223le gaz actif étant polyatomique, c. à d. contenant plus d'un atome
225comprenant un excimer ou un exciplex
H01S 3/23 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
SDISPOSITIFS UTILISANT LE PROCÉDÉ D'AMPLIFICATION DE LA LUMIÈRE PAR ÉMISSION STIMULÉE DE RAYONNEMENT POUR AMPLIFIER OU GÉNÉRER DE LA LUMIÈRE; DISPOSITIFS UTILISANT L’ÉMISSION STIMULÉE DE RAYONNEMENT ÉLECTROMAGNÉTIQUE DANS DES GAMMES D’ONDES AUTRES QU'OPTIQUES
3Lasers, c. à d. dispositifs utilisant l'émission stimulée de rayonnement électromagnétique dans la gamme de l’infrarouge, le visible ou l’ultraviolet
23Agencement de plusieurs lasers non prévu dans les groupes H01S3/02-H01S3/14110
CPC
H01S 3/09702
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
09Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
097by gas discharge of a gas laser
09702Details of the driver electronics and electric discharge circuits
H01S 3/225
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
14characterised by the material used as the active medium
22Gases
223the active gas being polyatomic, i.e. containing more than one atom
225comprising an excimer or exciplex
H01S 3/2383
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
3Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
23Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
2383Parallel arrangements
Déposants
  • COHERENT GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • TARGSDORF, Andreas [DE]/[DE] (UsOnly)
  • DESOR, Rainer [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventeurs
  • TARGSDORF, Andreas
  • DESOR, Rainer
Mandataires
  • SACKIN, Robert
Données relatives à la priorité
12/852,86409.08.2010US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) HIGH-PRECISION SYNCHRONIZATION OF PULSED GAS-DISCHARGE LASERS
(FR) SYNCHRONISATION DE HAUTE PRÉCISION POUR LASERS À DÉCHARGE DE GAZ PULSÉ
Abrégé
(EN)
Two excimer lasers have individual pulsing circuits (10A, 10B) each including a storage capacitor (COA, COB) which is charged and then discharged through a pulse transformer (L5A, L5B) to generate an electrical pulse, which is delivered to the laser to generate a light pulse. The time between generation of the electrical pulse and creation of the light pulse is dependent on the charged voltage of the capacitor so that voltage variation induces jitter. The capacitors are charged while disconnected from each other. The generation of the electrical pulses is synchronized by connecting the capacitors togehter for a brief period after the capacitors are charged to equalize the charging voltages. The capacitors are disconnected from each other before they are discharged. Connection and disconnection is established by switching arrangement (40) which includes first and second IGBT diode modules (42A, 42B) connected in anti-serial manner between the two storage capacitors.
(FR)
Selon l'invention, deux lasers excimères sont dotés de circuits pulsés individuels (10A, 10B), chacun comportant un condensateur d'accumulation (COA, COB) dont la charge puis la décharge sont réalisées par l'intermédiaire d'un transformateur d'impulsions (L5A, L5B) dans le but de générer une impulsion électrique, celle-ci étant délivrée au laser afin de générer une impulsion lumineuse. L'intervalle de temps s'écoulant entre la génération de l'impulsion électrique et la création de l'impulsion lumineuse est tributaire de la tension en charge sur le condensateur, de sorte que toute variation de tension engendre une instabilité. La charge des condensateurs a lieu pendant qu'ils sont déconnectés l'un de l'autre. Pour assurer la synchronisation de la génération des impulsions électriques, on raccorde les condensateurs l'un à l'autre pendant un bref intervalle de temps, une fois que les condensateurs sont chargés, afin d'égaliser les tensions de charge. Puis on déconnecte les condensateurs l'un de l'autre avant qu'ils ne soient déchargés. Un agencement de commutation (40) permet d'effectuer l'opération de connexion et de déconnexion, l'agencement englobant des premier et second modules à diodes IGBT (42A, 42B) connectés suivant une séquence anti-série entre les deux condensateurs d'accumulation.
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