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1. WO2012016693 - APPAREIL DE BLOCAGE ET DE DÉBLOCAGE D'UNE OUVERTURE DE CHARGEMENT/DE DÉCHARGEMENT D'UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT

Numéro de publication WO/2012/016693
Date de publication 09.02.2012
N° de la demande internationale PCT/EP2011/003895
Date du dépôt international 03.08.2011
CIB
H01L 21/67 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
CPC
A61F 13/38
AHUMAN NECESSITIES
61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
13Bandages or dressings
15Absorbent pads, e.g. sanitary towels, swabs or tampons for external or internal application to the body
38Swabs having a stick-type handle, ; e.g. cotton tips
A61M 1/008
AHUMAN NECESSITIES
61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
MDEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY
1Suction or pumping devices for medical purposes; Devices for carrying-off, for treatment of, or for carrying-over, body-liquids; Drainage systems
008Drainage tubes; Aspiration tips
E04B 2/706
EFIXED CONSTRUCTIONS
04BUILDING
BGENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
2Walls, e.g. partitions, for buildings; Wall construction with regard to insulation; Connections specially adapted to walls
56Load-bearing; walls of framework or pillarwork; Walls incorporating load-bearing elongated members
70with elongated members of wood
706with supporting function
E04C 2/386
EFIXED CONSTRUCTIONS
04BUILDING
CSTRUCTURAL ELEMENTS; BUILDING MATERIALS
2Building elements of relatively thin form for the construction of parts of buildings, e.g. sheet materials, slabs, or panels
30characterised by the shape or structure
38with attached ribs, flanges, or the like, e.g. framed panels
386with a frame of unreconstituted or laminated wood
H01L 21/67126
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67126Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
Déposants
  • CENTROTHERM THERMAL SOLUTIONS GMBH & CO. KG [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • VÖLK, Peter [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventeurs
  • VÖLK, Peter
Mandataires
  • KLANG, Alexander H.
Données relatives à la priorité
10 2010 033 303.404.08.2010DE
61/375,90423.08.2010US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) APPARATUS FOR BLOCKING AND UNBLOCKING A LOADING/UNLOADING OPENING OF A PROCESS CHAMBER
(FR) APPAREIL DE BLOCAGE ET DE DÉBLOCAGE D'UNE OUVERTURE DE CHARGEMENT/DE DÉCHARGEMENT D'UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT
Abrégé
(EN)
An apparatus for blocking and unblocking a loading/unloading opening of at least one process chamber for treating substrates as well as an apparatus for treating substrates including a corresponding closing apparatus are described. The closing apparatus comprises at least one tube element having at least one inlet and/or outlet opening connectable to a fluid source and/or a vacuum source, and a casing having a chamber axially extending in the casing for housing the tube element, and a passage intersecting the chamber laterally to the axial direction, wherein the passage is aligned with the loading/unloading opening of the process chamber and wherein the chamber has a circular cross-sectional area. Furthermore, at least one fixing element for positioning and fixing a section of the tube element in a predetermined position with respect to the loading/unloading opening of the process chamber is provided. The tube element may be moved between an expanded or deployed condition and a retracted condition retracted towards the fixed section via selectively applying fluid and/or vacuum to the inner space of the tube element, wherein the tube element blocks the loading/unloading opening of the process chamber in the deployed condition and unblocks the loading/unloading opening of the process chamber in the retracted condition. The apparatus for treating a substrate comprises at least one process chamber having a loading/unloading opening and a closing apparatus of the above type.
(FR)
La présente invention concerne un appareil de blocage et de déblocage d'une ouverture de chargement/de déchargement d'au moins une chambre de traitement destinée à traiter des substrats, ainsi qu'un appareil destiné à traiter des substrats comprenant un appareil de fermeture correspondant. L'appareil de fermeture comprend au moins un élément tubulaire présentant au moins une ouverture d'entrée et/ou de sortie pouvant être reliée à une source de fluide et/ou à une source de vide, et un corps présentant une chambre s'étendant axialement dans le corps pour loger l'élément tubulaire, et un passage coupant la chambre de manière latérale par rapport à la direction axiale, le passage étant aligné avec l'ouverture de chargement/de déchargement de la chambre de traitement et la chambre présentant une superficie de section circulaire. De plus, au moins un élément de fixation est destiné à positionner et à fixer une section de l'élément tubulaire dans une position prédéterminée par rapport à l'ouverture de chargement/de déchargement de la chambre de traitement. L'élément tubulaire peut être déplacé entre un état étendu ou déployé et un état rentré en direction de la section fixe par l'application sélective de fluide et/ou de vide sur l'espace intérieur de l'élément tubulaire, l'élément tubulaire bloquant l'ouverture de chargement/de déchargement de la chambre de traitement dans l'état déployé et débloquant l'ouverture de chargement/de déchargement de la chambre de traitement dans l'état rentré. L'appareil de traitement d'un substrat comprend au moins une chambre de traitement présentant une ouverture de chargement/de déchargement et un appareil de fermeture du type mentionné ci-dessus.
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