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Paramétrages

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1. WO2012010139 - MACHINE-OUTIL DE PRÉCISION

Numéro de publication WO/2012/010139
Date de publication 26.01.2012
N° de la demande internationale PCT/DE2011/001385
Date du dépôt international 10.06.2011
CIB
H01L 21/67 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
B23Q 3/18 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
QPARTIES CONSTITUTIVES, AMÉNAGEMENTS OU ACCESSOIRES DES MACHINES-OUTILS, p.ex. DISPOSITIONS POUR COPIER OU COMMANDER; MACHINES-OUTILS D'UTILISATION GÉNÉRALE, CARACTÉRISÉES PAR LA STRUCTURE DE CERTAINES PARTIES CONSTITUTIVES OU AMÉNAGEMENTS; COMBINAISONS OU ASSOCIATIONS DE MACHINES POUR LE TRAVAIL DES MÉTAUX, NE VISANT PAS UN TRAVAIL PARTICULIER
3Dispositifs permettant de maintenir, supporter ou positionner les pièces ou les outils, ces dispositifs pouvant normalement être démontés de la machine
18pour positionner uniquement
B23Q 1/44 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
QPARTIES CONSTITUTIVES, AMÉNAGEMENTS OU ACCESSOIRES DES MACHINES-OUTILS, p.ex. DISPOSITIONS POUR COPIER OU COMMANDER; MACHINES-OUTILS D'UTILISATION GÉNÉRALE, CARACTÉRISÉES PAR LA STRUCTURE DE CERTAINES PARTIES CONSTITUTIVES OU AMÉNAGEMENTS; COMBINAISONS OU ASSOCIATIONS DE MACHINES POUR LE TRAVAIL DES MÉTAUX, NE VISANT PAS UN TRAVAIL PARTICULIER
1Eléments composant la structure générale d'un type de machine, et plus spécialement gros éléments fixes
25Supports mobiles ou réglables d'outils ou de pièces
44utilisant des mécanismes particuliers
CPC
B23Q 1/44
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING
1Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
25Movable or adjustable work or tool supports
44using particular mechanisms
B23Q 1/5462
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING
1Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
25Movable or adjustable work or tool supports
44using particular mechanisms
50with rotating pairs only ; , the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
54two rotating pairs only
545comprising spherical surfaces
5462with one supplementary sliding pair
B23Q 1/621
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING
1Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
25Movable or adjustable work or tool supports
44using particular mechanisms
56with sliding pairs only ; , the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
60two sliding pairs only ; , the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
62with perpendicular axes, e.g. cross-slides
621a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
H01L 21/67132
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67132Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
H01L 21/67138
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67138Apparatus for wiring semiconductor or solid state device
H01L 21/67144
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67144Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
Déposants
  • HESSE & KNIPPS GMBH [DE/DE]; Vattmannstraße 6 33100 Paderborn, DE (AllExceptUS)
  • WALTHER, Frank [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • JOCHHEIM, Andreas [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs
  • WALTHER, Frank; DE
  • JOCHHEIM, Andreas; DE
Mandataires
  • WICKORD, Wiro [DE/DE]; Technologiepark 11 33100 Paderborn, DE
Données relatives à la priorité
10 2010 024 623.922.06.2010DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) PRÄZISIONSWERKZEUGMASCHINE
(EN) PRECISION MACHINE TOOL
(FR) MACHINE-OUTIL DE PRÉCISION
Abrégé
(DE)
Es wird eine Präzisionswerkzeugmaschine, insbesondere für die Halbleiterindustrie, beschrieben, bei der es sich beispielsweise um einen Drahtbonder, Die-Bonder, Bestückungsautomat oder Dispenser handeln kann. Die Maschine weist ein speziell ausgebildetes Antriebssystem auf, das eine aus einer xy-Parallelkinematik und einer Portalkinematik kombinierte Antriebseinheit umfasst. Mit diesem Antriebssystem lässt sich bei besonders wenig bewegten Massen eine besonders hohe Positioniergenauigkeit bei einem gleichzeitig großen Verfahrbereich und hoher Dynamik erzielen.
(EN)
The invention relates to a precision machine tool, in particular for the semiconductor industry. Said precision machine tool can be, for example, a wire bonder, die bonder, component placement machine, or dispenser. The machine has a specially designed drive system, which has a drive unit combining xy parallel kinematics and portal kinematics. A particularly high positioning accuracy and simultaneously large range of motion and high dynamics can be achieved by means of said drive system in the case of particularly few moved bodies.
(FR)
La présente invention concerne une machine-outil de précision, notamment destinée à l'industrie des semi-conducteurs. Il peut par exemple s'agir d'une microsoudeuse de fils, d'une microsoudeuse de puces, d'une machine d'implantation de composants ou d'un distributeur. Ladite machine présente un système d'entraînement de conception spéciale qui comprend une unité d'entraînement combinant une cinématique parallèle en xy et une cinématique à portique. Ce système d'entraînement permet, lorsque les masses sont particulièrement peu déplacées, d'obtenir une précision de positionnement particulièrement élevée, tout en bénéficiant d'une plage de déplacement importante et d'une dynamique élevée.
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