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Paramétrages

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1. WO2012009543 - CONTRASTE AMÉLIORÉ POUR MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE CONFOCAL À BALAYAGE

Numéro de publication WO/2012/009543
Date de publication 19.01.2012
N° de la demande internationale PCT/US2011/044019
Date du dépôt international 14.07.2011
CIB
H01J 37/28 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
28avec faisceaux de balayage
G01N 21/25 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
25Couleur; Propriétés spectrales, c. à d. comparaison de l'effet du matériau sur la lumière pour plusieurs longueurs d'ondes ou plusieurs bandes de longueurs d'ondes différentes
CPC
H01J 2237/1534
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
153Correcting image defects, e.g. stigmators
1534Aberrations
H01J 2237/24465
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
244Detection characterized by the detecting means
2446Position sensitive detectors
24465Sectored detectors, e.g. quadrants
H01J 2237/24485
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
244Detection characterized by the detecting means
24485Energy spectrometers
H01J 2237/2802
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
26Electron or ion microscopes
28Scanning microscopes
2802Transmission microscopes
H01J 37/244
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
244Detectors; Associated components or circuits therefor
H01J 37/28
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
28with scanning beams
Déposants
  • FEI COMPANY [US/US]; 5350 Ne Dawson Creek Dr. Hillsboro, Oregon 97124, US (AllExceptUS)
  • LAZAR, Sorin [RO/NL]; NL (UsOnly)
  • FREITAG, Bert Henning [DE/NL]; NL (UsOnly)
  • TIEMEIJER, Peter Christiaan [NL/NL]; NL (UsOnly)
Inventeurs
  • LAZAR, Sorin; NL
  • FREITAG, Bert Henning; NL
  • TIEMEIJER, Peter Christiaan; NL
Mandataires
  • SCHEINBERG, Michael O.; P.O. Box 164140 Austin, Texas 78716, US
Données relatives à la priorité
61/364,35514.07.2010US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) IMPROVED CONTRAST FOR SCANNING CONFOCAL ELECTRON MICROSCOPE
(FR) CONTRASTE AMÉLIORÉ POUR MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE CONFOCAL À BALAYAGE
Abrégé
(EN)
A scanning confocal transmission electron microscope includes a descan deflector and a corrector below the sample. The microscope uses a detector that is preferably significantly larger than the resolution of the microscope and is positioned in the real image plane, which provides improved contrast, particularly for light elements.
(FR)
La présente invention concerne un microscope électronique confocal à balayage de transmission comprenant un déflecteur de balayage et un correcteur au-dessous de l'échantillon. Le microscope utilise un détecteur de préférence considérablement plus grand que la résolution du microscope et positionné dans le plan de l'image réelle, fournissant un contraste amélioré, en particulier pour les éléments légers.
Également publié en tant que
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