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Paramétrages

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1. WO2012008156 - DISPOSITIF D'ÉTANCHÉITÉ ET DISPOSITIF DE TRANSPORT

Numéro de publication WO/2012/008156
Date de publication 19.01.2012
N° de la demande internationale PCT/JP2011/004018
Date du dépôt international 13.07.2011
CIB
F16J 15/18 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
JPISTONS; CYLINDRES; RÉCIPIENTS SOUS PRESSION EN GÉNÉRAL; JOINTS D'ÉTANCHÉITÉ
15Joints d'étanchéité
16entre deux surfaces mobiles l'une par rapport à l'autre
18par presse-étoupes pour garnitures élastiques ou plastiques
B25J 19/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
19Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
H01L 21/677 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
CPC
H01L 21/67126
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67126Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
H01L 21/67742
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67739into and out of processing chamber
67742Mechanical parts of transfer devices
Déposants
  • 株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP/JP]; 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543, JP (AllExceptUS)
  • 吉野 孝広 YOSHINO, Takahiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 中尾 裕利 NAKAO, Hirotoshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 竹永 勝成 TAKENAGA, Katsunari [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • 吉野 孝広 YOSHINO, Takahiro; JP
  • 中尾 裕利 NAKAO, Hirotoshi; JP
  • 竹永 勝成 TAKENAGA, Katsunari; JP
Mandataires
  • 大森 純一 OMORI, Junichi; 東京都港区赤坂7-5-47 U&M赤坂ビル2F 2nd Floor U&M Akasaka Bldg., 7-5-47 Akasaka, Minato-ku, Tokyo 1070052, JP
Données relatives à la priorité
2010-16168016.07.2010JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) SEALING DEVICE AND CONVEYANCE DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ÉTANCHÉITÉ ET DISPOSITIF DE TRANSPORT
(JA) シール装置及び搬送装置
Abrégé
(EN)
Disclosed are a conveyance device and a sealing device wherein the need to take the device apart is eliminated, thereby reducing cost, time and labour on the part of an operator, and suppressing wasteful consumption of energy of a power source. An operator lowers an adjustment screw (7) whilst making the adjustment screw (7) come into contact with the upper surface of a pressing-force ring (9), and lowers the pressing-force ring (9). Thus, the pressing-force ring (9) presses a sealing ring (13), and the sealing ring (13) is collapsed. After the expected sealing properties of the sealing ring (13) have been secured in this manner, the operator fixes the pressing-force ring (9) to a cover (8) by means of a fixing screw (6). Thus, the sealing force of the sealing ring (13) can be adjusted, as appropriate.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif de transport et un dispositif d'étanchéité rendant inutile le fait de prendre le dispositif séparément, les coûts, le temps consacré et la main-d'œuvre peuvent être réduits du côté de l'opérateur et la consommation d'énergie gaspillée par une source de force d'entraînement peut être supprimée. Un opérateur abaisse une vis de réglage (7) tout en faisant entrer la vis de réglage (7) en contact avec la surface supérieure d'une bague de force de compression (9) et abaisse la bague de force de compression (9). Ainsi, la bague de force de compression (9) comprime la bague d'étanchéité (13) et la bague d'étanchéité (13) est aplatie. Une fois les propriétés d'étanchéité escomptées de la bague d'étanchéité (13) garanties de cette manière, l'opérateur peut fixer la bague de force de compression (9) à un capot (8) au moyen d'une vis de fixation (6). Ainsi, la force d'étanchéité de la bague d'étanchéité (13) peut être ajustée, si nécessaire.
(JA)
【課題】装置の分解を不要とすることで、作業者による労力、時間及びコストを減らすことができ、また、動力源の無駄なエネルギーの消費を抑制することができるシール装置及び搬送装置を提供すること。 【解決手段】作業者は、調整ネジ7を押圧リング9の上面に当接させながら調整ネジ7を下降させて押圧リング9を下降させる。これにより、押圧リング9がシールリング13を押圧し、シールリング13がつぶれるように作用する。このようにしてシールリング13の所期のシール性が確保された後、作業者は固定ネジ6によりカバー8に対して押圧リング9を固定する。これにより、シールリング13のシール力を適切に調整することができる。
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