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Paramétrages

Paramétrages

1. WO2012004979 - GYROSCOPE VIBRANT ROTATIF

Numéro de publication WO/2012/004979
Date de publication 12.01.2012
N° de la demande internationale PCT/JP2011/003829
Date du dépôt international 05.07.2011
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 15.12.2011
CIB
G01C 19/56 2012.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
CMESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
CPC
G01C 19/5712
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5705using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
5712the devices involving a micromechanical structure
Déposants
  • パイオニア株式会社 PIONEER CORPORATION [JP/JP]; 神奈川県川崎市幸区新小倉1番1号 1-1, Shin-ogura, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2120031, JP (AllExceptUS)
  • パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社 PIONEER MICRO TECHNOLOGY CORPORATION [JP/JP]; 山梨県甲府市大里町465番地 465 Osato-cho, Kofu-shi, Yamanashi 4000053, JP (AllExceptUS)
  • 杉田 哲郎 SUGITA, Tetsuro [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 伊藤 三朗 ITO, Saburo [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 平山 大介 HIRAYAMA, Daisuke [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 山村 雄一 YAMAMURA, Yuichi [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • 杉田 哲郎 SUGITA, Tetsuro; JP
  • 伊藤 三朗 ITO, Saburo; JP
  • 平山 大介 HIRAYAMA, Daisuke; JP
  • 山村 雄一 YAMAMURA, Yuichi; JP
Mandataires
  • 落合 稔 OCHIAI, Minoru; 東京都千代田区岩本町1丁目12番4号 大洋ビル2階 2th Floor, taiyo Building, 12-4, Iwamotocho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010032, JP
Données relatives à la priorité
PCT/JP2010/00437905.07.2010JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) ROTATIONAL VIBRATION GYRO
(FR) GYROSCOPE VIBRANT ROTATIF
(JA) 回転振動型ジャイロ
Abrégé
(EN)
Provided is a rotational vibration gyro which achieves improvement in the degree of freedom of design regarding flexural and torsional characteristics of a support spring. Disclosed is a rotational vibration gyro (1) characterized by being provided with a movable weight (4) which is released above a substrate (2) and has a slit (8) passing the center of gravity and extending in the axial direction of a detection axis, a drive electrode (3) which rotationally vibrates the movable weight (4) around the Z axis that passes the center of gravity thereof, a detection electrode (9) which detects the displacement of the movable weight (4) that is swung around the detection axis by Coriolis force, an anchor (6) which is provided so as to project from the substrate (2) and inserted into the slit (8) concentrically with center of gravity and supports the movable weight (4), and two rows of support springs (7) which are hung between the anchor (6) and the movable weight (4), are parallel in the detection axis direction, and are disposed line-symmetrically with respect to the detection axis.
(FR)
L'invention concerne un gyroscope vibrant rotatif qui améliore le degré de liberté de conception en ce qui concerne les caractéristiques en flexion et en torsion du ressort de support. Il est décrit un gyroscope vibrant rotatif (1) caractérisé en ce qu'il comprend une masse mobile (4) qui est détachée au-dessus d'un substrat (2) et présente une fente (8) passant par le centre de gravité et s'étendant dans le sens axial d'un axe de détection, une électrode de commande (3) qui fait vibrer la masse mobile (4) en rotation autour de l'axe Z passant par son centre de gravité, une électrode de détection (9) qui détecte le déplacement de la masse mobile (4) oscillant autour de l'axe de détection sous l'effet de la force de Coriolis, une ancre (6) prévue de manière à dépasser du substrat (2), insérée dans la fente (8) concentriquement au centre de gravité et supportant la masse mobile (4), et deux rangées de ressorts de support (7) accrochés entre l'ancre (6) et la masse mobile (4), parallèles dans le sens de l'axe de détection et disposés symétriquement par rapport à l'axe de détection.
(JA)
 本発明は、支持ばねの曲げや捻りの特性に関し、設計の自由度を向上させ得る回転振動型ジャイロを提供することを課題とする。 本発明の回転振動型ジャイロ1は、基板2上にリリースされ、重心を通り検出軸の軸方向に延在するスリット8を有する可動錘4と、可動錘4をその重心を通るZ軸回りに回転振動させる駆動電極3と、検出軸を中心にコリオリ力により揺動する可動錘4の変位を検出する検出電極9と、基板2に突設されると共に重心と同心上においてスリット8に挿通し、可動錘4を支持するアンカー6と、アンカー6と可動錘4との間に掛け渡され、検出軸方向に平行であって、検出軸を中心に線対称に配設された2列の支持ばね7と、を備えたことを特徴とする。
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