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Paramétrages

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1. WO2012001929 - APPAREIL DE MESURE D'ABERRATION DE FRONT D'ONDE ET PROCÉDÉ DE MESURE D'ABERRATION DE FRONT D'ONDE

Numéro de publication WO/2012/001929
Date de publication 05.01.2012
N° de la demande internationale PCT/JP2011/003625
Date du dépôt international 24.06.2011
CIB
G01M 11/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
MTEST D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES OU DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; TEST DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
11Test des appareils optiques; Test des structures ou des ouvrages par des méthodes optiques, non prévu ailleurs
02Test des propriétés optiques
CPC
G01M 11/0214
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
02Testing optical properties
0207Details of measuring devices
0214Details of devices holding the object to be tested
G01M 11/0271
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
02Testing optical properties
0242by measuring geometrical properties or aberrations
0271by using interferometric methods
Déposants
  • パナソニック株式会社 PANASONIC CORPORATION [JP/JP]; 大阪府門真市大字門真1006番地 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501, JP (AllExceptUS)
  • 松崎 圭一 MATSUZAKI, Keiichi; null (UsOnly)
  • 佐野 晃正 SANO, Kousei; null (UsOnly)
Inventeurs
  • 松崎 圭一 MATSUZAKI, Keiichi; null
  • 佐野 晃正 SANO, Kousei; null
Mandataires
  • 小谷 悦司 KOTANI, Etsuji; 大阪府大阪市北区中之島2丁目2番2号大阪中之島ビル2階 Osaka Nakanoshima Building 2nd Floor, 2-2, Nakanoshima 2-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300005, JP
Données relatives à la priorité
2010-15104301.07.2010JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) WAVEFRONT ABERRATION MEASURING APPARATUS AND WAVEFRONT ABERRATION MEASURING METHOD
(FR) APPAREIL DE MESURE D'ABERRATION DE FRONT D'ONDE ET PROCÉDÉ DE MESURE D'ABERRATION DE FRONT D'ONDE
(JA) 波面収差測定装置及び波面収差測定方法
Abrégé
(EN)
Disclosed is a wavefront aberration measuring apparatus wherein a beam splitter (3) splits light emitted from a light source (1) into measuring light (8) and reference light (12), and guides the measuring light (8) reflected by a lens (5) to be inspected and the reference light (12) to be in the same direction. An objective lens (7) collects the measuring light (8) to the lens (5), and converts the measuring light (8) reflected by the lens surface of the lens (5) into parallel light, a reference mirror (10) reflects the reference light (12) toward the beam splitter (3), the light source (1) emits the low coherence light, and the optical path length of the measuring light (8) and that of the reference light (12) accord with each other. With such configuration, influence of interference noise due to reflection light from surfaces different from the lens surface to be measured can be reduced, and the wavefront aberration of the lens surface to be measured can be highly accurately measured.
(FR)
L'invention concerne un appareil de mesure d'aberration de front d'onde dans lequel un diviseur de faisceau (3) divise la lumière émise par une source de lumière (1) en une lumière de mesure (8) et une lumière de référence (12), et guide la lumière de mesure (8) réfléchie par une lentille (5) à inspecter et la lumière de référence (12) de sorte qu'elles soient dans une même direction. Une lentille d'objectif (7) recueille la lumière de mesure (8) vers la lentille (5) et convertit la lumière de mesure (8) réfléchie par la surface de la lentille (5) en une lumière parallèle, un miroir de référence (10) réfléchit la lumière de référence (12) vers le diviseur de faisceau (3), la source de lumière (1) émet une lumière à basse cohérence, et la longueur du trajet optique de la lumière de mesure (8) et celle de la lumière de référence (12) s'accordent l'une avec l'autre. Grâce à cette configuration, l'influence des bruits d'interférence dus à la lumière de réflexion venant de surfaces différentes de la surface de lentille à mesurer peut être réduite, et une aberration de front d'onde de la surface de lentille à mesurer peut être mesurée avec une grande précision.
(JA)
 ビームスプリッタ(3)は、光源(1)から出射された光を測定光(8)と参照光(12)とに分岐し、かつ、被検レンズ(5)を反射した測定光(8)と、参照光(12)とをそれぞれ同一方向に導き、対物レンズ(7)は、測定光(8)を被検レンズ(5)に集光し、かつ、被検レンズ(5)のレンズ面から反射した測定光(8)を平行光に変換し、参照ミラー(10)は、参照光(12)をビームスプリッタ(3)に向けて反射し、光源(1)は、低コヒーレンス光を出射し、測定光(8)と参照光(12)との光路長は一致する。この構成により、被検レンズの測定面とは異なる面からの反射光による干渉ノイズの影響を低減することができ、高精度に被検レンズの測定面の波面収差を測定することができる。
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