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1. (WO2011162403) PELLICULE DE SILICE MÉSOPOREUSE, CORPS STRUCTURAL COMPORTANT UNE PELLICULE DE SILICE MÉSOPOREUSE, PELLICULE ANTIREFLET, ÉLÉMENT OPTIQUE, ET LEURS PROCÉDÉS DE PRODUCTION

Pub. No.:    WO/2011/162403    International Application No.:    PCT/JP2011/064615
Publication Date: Fri Dec 30 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Tue Jun 21 01:59:59 CEST 2011
IPC: C01B 37/02
B82Y 20/00
B82Y 30/00
C01B 33/12
G02B 1/11
G02B 1/113
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA
TAKAHASHI, Masahiko
MIYATA, Hirokatsu
Inventors: TAKAHASHI, Masahiko
MIYATA, Hirokatsu
Title: PELLICULE DE SILICE MÉSOPOREUSE, CORPS STRUCTURAL COMPORTANT UNE PELLICULE DE SILICE MÉSOPOREUSE, PELLICULE ANTIREFLET, ÉLÉMENT OPTIQUE, ET LEURS PROCÉDÉS DE PRODUCTION
Abstract:
La présente invention concerne une pellicule de silice mésoporeuse, incluant une structure représentée par SiO(2-n/2)Xn (où X représente un groupement formé d'au moins un type choisi au sein du groupe constitué par un groupement alkyle, un groupement fluoroalkyle et le fluor, n représente un entier compris entre 1 et 3 inclus) dans une couche de surface de la pellicule de silice mésoporeuse, où : un rapport d'éléments constitutifs (A1/S1) du nombre total d'atomes de carbone et d'atomes de fluor (A1) sur le nombre d'atomes de silicium (S1) dans la couche de surface est supérieur ou égal à 0,1 ; et un rapport d'éléments constitutifs (A2/S2) du nombre total d'atomes de carbone et d'atomes de fluor (A2) sur le nombre d'atomes de silicium (S2) dans une couche interne de la pellicule de silice mésoporeuse est inférieur au rapport d'éléments constitutifs (A1/S1).