WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2011162297) APPAREIL DE FORMATION DE FILM, ET PROCÉDÉ D'ENTRETIEN D'UN APPAREIL DE FORMATION DE FILM
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/162297    N° de la demande internationale :    PCT/JP2011/064288
Date de publication : 29.12.2011 Date de dépôt international : 22.06.2011
CIB :
H01L 21/205 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), H01L 31/04 (2006.01)
Déposants : ULVAC, Inc. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
HAYASHI Takuro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SOGABE Kouji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MATSUMOTO Koichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HASHIMOTO Masanori [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NAKAMURA Kyuzo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HAGIWARA Munemoto [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
UCHIDA Hiroto [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MORI Katsuhiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SHIMIZU Yasuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SAKAMOTO Moriaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HAYASHI Takuro; (JP).
SOGABE Kouji; (JP).
MATSUMOTO Koichi; (JP).
HASHIMOTO Masanori; (JP).
NAKAMURA Kyuzo; (JP).
HAGIWARA Munemoto; (JP).
UCHIDA Hiroto; (JP).
MORI Katsuhiko; (JP).
SHIMIZU Yasuo; (JP).
SAKAMOTO Moriaki; (JP)
Mandataire : SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku Tokyo 1006620 (JP)
Données relatives à la priorité :
2010-145350 25.06.2010 JP
Titre (EN) FILM-FORMING APPARATUS, AND METHOD FOR MAINTAINING FILM-FORMING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE FORMATION DE FILM, ET PROCÉDÉ D'ENTRETIEN D'UN APPAREIL DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜装置、成膜装置のメンテナンス方法
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a film-forming apparatus wherein ignition sections are provided at two areas on each of the lower portions of the side surfaces on both the sides of a film forming chamber, said ignition sections being provided at four areas in total. A current is carried to the ignition sections at the time of igniting a burnable by-product. On the side surface of the film-forming chamber, a first detecting section for measuring pressure inside of the film-forming chamber is formed. On the lower portion of the side surface of the film-forming chamber, a second detecting section is formed. On the upper portion of the film-forming chamber, a third detecting section for measuring the temperature of the space inside of the film-forming chamber is formed.
(FR)L'invention concerne un appareil de formation de film dans lequel des sections d'inflammation sont placées dans deux zones sur chacune des parties inférieures des surfaces latérales des deux côtés d'une chambre de formation de film, lesdites sections d'inflammation étant placées dans quatre zones au total. Un courant est acheminé jusqu'aux sections d'inflammation au moment d'enflammer un sous-produit inflammable. Une première section de détection est formée sur la surface latérale de la chambre de formation de film pour mesurer la pression à l'intérieur de la chambre de formation de film. Une deuxième section de détection est formée sur la partie inférieure de la surface latérale de la chambre de formation de film. Une troisième section de détection est formée sur la partie supérieure de la surface latérale de la chambre de formation de film pour mesurer la température de l'espace à l'intérieur de la chambre de formation de film.
(JA) 成膜室の両側の側面下部には、それぞれ、点火部が2箇所ずつ、合計4箇所に設けられている。点火部は、可燃性の副生成物への点火時に通電される。成膜室の側面には成膜室内の圧力を測定するための第一の検出部が形成されている。成膜室の側面下部には、第二の検出部が形成されている。成膜室の上部には成膜室内の空間温度を測定する第三の検出部が形成されている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)