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1. (WO2011162239) CAPTEUR DE QUANTITÉ DYNAMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2011/162239 N° de la demande internationale : PCT/JP2011/064134
Date de publication : 29.12.2011 Date de dépôt international : 21.06.2011
CIB :
G01P 15/08 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,G01P 15/12 (2006.01) ,G01P 15/18 (2006.01) ,H01L 29/84 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
P
MESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15
Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
02
en ayant recours aux forces d'inertie
08
avec conversion en valeurs électriques ou magnétiques
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
B
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3
Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
P
MESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15
Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
02
en ayant recours aux forces d'inertie
08
avec conversion en valeurs électriques ou magnétiques
12
par modification d'une résistance électrique
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
P
MESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15
Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
18
dans plusieurs dimensions
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
29
Dispositifs à semi-conducteurs spécialement adaptés au redressement, à l'amplification, à la génération d'oscillations ou à la commutation et ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface; Condensateurs ou résistances ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. jonction PN, région d'appauvrissement, ou région de concentration de porteurs de charges; Détails des corps semi-conducteurs ou de leurs électrodes
66
Types de dispositifs semi-conducteurs
84
commandés par la variation d'une force mécanique appliquée, p.ex. d'une pression
Déposants : HASHIMOTO Katsumi[JP/JP]; JP (UsOnly)
DAI NIPPON PRINTING Co., Ltd.[JP/JP]; 1-1-1, Ichigaya Kagacho, Shinjuku-ku, Tokyo 1628001, JP (AllExceptUS)
Inventeurs : HASHIMOTO Katsumi; JP
Mandataire : Takahashi, Hayashi and Partner Patent Attorneys, Inc.; Sonpo Japan Kamata Building 9F, 5-24-2 Kamata, Ota-ku, Tokyo 1440052, JP
Données relatives à la priorité :
2010-14031721.06.2010JP
Titre (EN) DYNAMIC QUANTITY SENSOR
(FR) CAPTEUR DE QUANTITÉ DYNAMIQUE
(JA) 力学量センサ
Abrégé :
(EN) Disclosed is a dynamic quantity sensor wherein stress received by the sensor is reduced using a resin package, and fluctuation of sensor characteristics due to the stress is suppressed. The dynamic quantity sensor is provided with: a semiconductor substrate, which has a fixed section, a flexible section positioned inside of the fixed section, and a movable section; and a cap member which covers the flexible section and the movable section. The fixed section has: an inner frame, which surrounds the flexible section and the movable section, and an outer frame positioned on the circumference of the inner frame; a slit which separates the inner frame and the outer frame one from the other; and a connecting section which connects together the inner frame and the outer frame.
(FR) La présente invention concerne un capteur de quantité dynamique. L'utilisation d'un boîtier en résine permet de réduire les contraintes reçues par le capteur, et les fluctuations des caractéristiques du capteur dues aux contraintes sont supprimées. Le capteur de quantité dynamique comprend : un substrat semi-conducteur, comportant une section fixe, une section souple positionnée à l'intérieur de la section fixe, et une section mobile ; et un élément de capot, recouvrant la section souple et la section mobile. La section fixe comporte : un cadre interne, entourant la section souple et la section mobile, et un cadre externe, positionné sur la circonférence du cadre interne ; une fente, séparant le cadre interne et le cadre externe l'un de l'autre ; et une section de connexion, connectant ensemble le cadre interne et le cadre externe.
(JA) 本発明は、樹脂パッケージによりセンサが受ける応力を軽減し、応力によるセンサ特性の変動を抑制する力学量センサを提供する。力学量センサは、固定部と前記固定部の内側に位置する可撓部及び可動部とを有する半導体基板と、前記可撓部及び前記可動部を覆うキャップ部材と、を備え、前記固定部は、前記可撓部及び前記可動部を囲む内フレームと前記内フレームの周囲に位置する外フレームと、前記内フレームと前記外フレームを分離するスリットと、前記内フレームと前記外フレームを連結する連結部と、を有する。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)