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1. (WO2011160749) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR REVÊTIR UNE SURFACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2011/160749 N° de la demande internationale : PCT/EP2011/002468
Date de publication : 29.12.2011 Date de dépôt international : 18.05.2011
CIB :
C23C 14/04 (2006.01) ,C23C 14/12 (2006.01) ,C23C 14/32 (2006.01) ,H01L 51/00 (2006.01) ,H01J 37/317 (2006.01)
Déposants : STOESSEL, Philipp[DE/DE]; DE (UsOnly)
HEIL, Holger[DE/DE]; DE (UsOnly)
SPREITZER, Hubert[DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHUBACH, Bernhard[DE/DE]; DE (UsOnly)
DASENBROCK, Johannes[DE/DE]; DE (UsOnly)
MERCK PATENT GMBH[DE/DE]; Frankfurter Strasse 250 64293 Darmstadt, DE (AllExceptUS)
Inventeurs : STOESSEL, Philipp; DE
HEIL, Holger; DE
SPREITZER, Hubert; DE
SCHUBACH, Bernhard; DE
DASENBROCK, Johannes; DE
Données relatives à la priorité :
10 2010 024 543.722.06.2010DE
Titre (EN) METHOD AND DEVICE FOR COATING A SURFACE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR REVÊTIR UNE SURFACE
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINER OBERFLÄCHE
Abrégé : front page image
(EN) The invention relates to a method for coating a surface (1) of a carrier material (2) with molecules (5, 6), said molecules (5, 6) being transferred from a molecular store (3, 4) into a gaseous state and ionised, the electrically charged molecules (5, 6), on the way to the surface, are subjected to at least one electric and/or magnetic field having at least one field component which is perpendicular to the targeted movement of the electrically charged molecules (5, 6), in order to exert targeted force perpendicular to the targeted movement of said electrically charged molecules (5, 6) onto the electrically charged molecules (5, 6). An electric and/or magnetic focusing device (8), for example a quadrupole field, acts upon the targeted movement of the electrically charged molecules (5, 6) between the molecule store (3, 4) and the surface (1). A filter device (12) is arranged between the molecule store (3, 4) and the surface (1) such that only molecules (5, 6) having a predetermined mass-charge ratio can reach the surface (1) through the filter device (12). The electrically charged molecules (5, 6) are prevented from impacting the surface (1) for predetermined periods of time by means of suitable electric and/or magnetic fields or means of temporally changeable filter devices (14). This enables the structured coating of the surface to take place.
(FR) L'invention concerne un procédé pour revêtir une surface (1) d'un matériau support (2) avec des molécules (5, 6), les molécules (5, 6) étant transférées à l'état gazeux à partir d'un stock de molécules (3, 4) et ionisées. Selon le procédé, au cours du trajet vers la surface (1), les molécules chargées électriquement (5, 6) sont soumises à au moins un champ électrique et/ou magnétique présentant au moins une composante de champ perpendiculaire au mouvement dirigé des molécules chargées électriquement (5, 6) pour exercer une force orientée perpendiculairement au mouvement dirigé des molécules chargées électriquement (5, 6) sur les molécules chargées électriquement (5, 6). Un dispositif de focalisation électrique et/ou magnétique (8), par exemple un champ quadripolaire, agit sur le mouvement dirigé des molécules chargées électriquement (5, 6) entre le stock de molécules (3, 4) et la surface (1). Un dispositif filtre (12) est disposé entre le stock de molécules (3, 4) et la surface (1) de telle manière que seules des molécules (5, 6) présentant un rapport masse/charge prédéfini puissent atteindre la surface (1) à travers le dispositif filtre (12). A l'aide de champs électriques et/ou magnétiques adaptés ou de dispositifs filtres (14) variables dans le temps, l'arrivée des molécules chargées électriquement (5, 6) sur la surface (1) est empêchée pour des intervalles de temps prédéfinis. Ceci permet le revêtement structuré de la surface.
(DE) Bei einem Verfahren zum Beschichten einer Oberfläche (1) eines Trägermaterials (2) mit Molekülen (5, 6), wobei die Moleküle (5, 6) aus einem Molekülvorrat (3, 4) in einen gasförmigen Zustand überführt und ionisiert werden, werden die elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) auf dem Weg zu der Oberfläche (1) mindestens einem elektrischen und/oder magnetischen Feld ausgesetzt werden, das mindestens eine Feldkomponente senkrecht zu der gerichteten Bewegung der elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) aufweist, um eine senkrecht zu der gerichteten Bewegung der elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) gerichtete Kraftwirkung auf die elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) auszuüben. Zwischen dem Molekülvorrat (3, 4) und der Oberfläche (1) wirkt eine elektrische und/oder magnetische Fokussiereinrichtung (8), beispielsweise ein Quadrupolfeld, auf die gerichtete Bewegung der elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) ein. Zwischen dem Molekülvorrat (3, 4) und der Oberfläche (1) ist eine Blendenvorrichtung (12) so angeordnet, dass nur Moleküle (5, 6) mit einem vorgebbaren Massen-Ladungs-Verhältnis durch die Blendenvorrichtung (12) hindurch zur Oberfläche (1) gelangen. Mittels geeigneter elektrischer und/oder magnetischer Felder oder mittels zeitlich veränderbarer Blendeneinrichtungen (14) wird für vorgebbare Zeitdauern ein Auftreffen der elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) auf der Oberfläche (1) verhindert. Dadurch wird die strukturierte Beschichtung der Oberfläche ermöglicht.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)