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PATENTSCOPE

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1. (WO2011159264) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'ÉPAISSEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2011/159264 N° de la demande internationale : PCT/TR2010/000113
Date de publication : 22.12.2011 Date de dépôt international : 15.06.2010
CIB :
G01B 15/02 (2006.01) ,G01N 23/225 (2006.01)
Déposants : CANLI, Sedat[TR/TR]; TR
Inventeurs : CANLI, Sedat; TR
Mandataire : YALCINER, Ugur G. (YALCINER DANISMANLIK VE DIS TICARET LTD. STI.); Tunus Caddesi No:85/8 Kavaklidere 06680 Ankara, TR
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) A THICKNESS DETERMINATION METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'ÉPAISSEUR
Abrégé : front page image
(EN) This invention is about a method for measuring the thickness with electron microscopes using energy dispersive X-ray spectrometer. A spectrum of X-rays resulting from the interaction of the coated substrate to be investigated with an electron beam of known energy is built up by an energy dispersive X-ray spectroscope and the element ratios are obtained. From these data, elemental ratio vs. electron beam energy curves are obtained. These curves, which are unique for each specific element and thickness of coating, allows the creation of reference curves to determine the thickness of the coating from known samples.
(FR) La présente invention concerne un procédé de mesure de l'épaisseur avec des microscopes électroniques qui utilisent un spectromètre à rayons X à dispersion d'énergie. Un spectre de rayons X résultant de l'interaction du substrat revêtu à étudier avec un faisceau d'électrons d'énergie connue est produit par un spectroscope à rayons X à dispersion d'énergie et les rapports élémentaires sont obtenus. À partir de ces données, on obtient des courbes de rapport élémentaire en fonction de l'énergie du faisceau d'électrons. Ces courbes, qui sont uniques pour chaque élément et épaisseur de revêtement spécifiques, permettent la création de courbes de référence afin de déterminer l'épaisseur du revêtement provenant d'échantillons connus.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)