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1. (WO2011158995) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN FTO À STRUCTURE DOUBLE FILM

Pub. No.:    WO/2011/158995    International Application No.:    PCT/KR2010/006305
Publication Date: Fri Dec 23 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Thu Sep 16 01:59:59 CEST 2010
IPC: H01L 31/042
Applicants: SOLARCERAMIC CO., LTD.
(주)솔라세라믹
SONG, Chul Kyu
송철규
Inventors: SONG, Chul Kyu
송철규
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN FTO À STRUCTURE DOUBLE FILM
Abstract:
Cette invention concerne un procédé de fabrication d'un FTO (oxyde d'étain dopé au fluor) à structure double film consistant : à chauffer un substrat entre 400 et 500 ; à produire un FTO par pulvérisation sur le substrat chauffé d'un précurseur contenant de l'étain ; à chauffer le film FTO plat à une température d'au moins 500-550° ; et à former une couche FTO à nanotiges. Cette invention se distingue en ce qu'un film FTO poly-cristallin est formé dans la partie inférieure et qu'une couche FTO à nanotiges est formée par croissance sur le film FTO poly-cristallin.