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1. (WO2011158912) SYSTÈME OPTIQUE D'ILLUMINATION, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DU DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2011/158912 N° de la demande internationale : PCT/JP2011/063846
Date de publication : 22.12.2011 Date de dépôt international : 16.06.2011
CIB :
H01L 21/027 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : SHIGEMATSU Koji[JP/JP]; JP (UsOnly)
NIKON CORPORATION[JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331, JP (AllExceptUS)
Inventeurs : SHIGEMATSU Koji; JP
Mandataire : HASEGAWA Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Life Bldg.) 9th fl., 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005, JP
Données relatives à la priorité :
2010-14002419.06.2010JP
Titre (EN) ILLUMINATING OPTICAL SYSTEM, EXPOSE DEVICE, AND DEVICE PRODUCTION METHOD
(FR) SYSTÈME OPTIQUE D'ILLUMINATION, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DU DISPOSITIF
(JA) 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法
Abrégé : front page image
(EN) Disclosed is an illuminating optical system which can illuminate a surface to be irradiated with light in a required polarisation state, and can limit the effect of retardation by an optical system succeeding a polarisation conversion member. The illuminating optical system (1-12) which illuminates a surface to be irradiated (M) with light from a light source (LS), is provided with: a polarisation conversion member (5A) which converts the polarisation state of incident light, and forms a pupil intensity distribution of a prescribed polarisation state on the illumination pupil of the illuminating optical system; and a phase modulation member (5B), which is disposed in the optical path further toward the surface to be irradiated side than the polarisation conversion element. In order to reduce the effect of retardation due to a succeeding optical system between the polarisation conversion member and the surface to be irradiated, of the light forming the pupil intensity distribution, the phase modulation member (5B) converts linearly polarised light which is polarised in a first direction to a required elliptically polarised light, and allows the polarisation state of linearly polarised light which is polarised in a second direction (X direction or Y direction) which obliquely intersects with the first direction, to pass through so as to be preserved.
(FR) L'invention concerne un système optique d'illumination capable d'illuminer une surface à irradier au moyen d'une lumière dans un état de polarisation imposé, et de limiter l'effet du retard dû à un système optique succédant à un élément de conversion de polarisation. Le système optique d'illumination (1-12) qui illumine une surface à irradier (M) au moyen d'une lumière provenant d'une source lumineuse (LS), comporte : un élément (5A) de conversion de polarisation qui convertit l'état de polarisation de la lumière incidente et forme une répartition d'intensité à la pupille caractérisée par un état de polarisation prescrit sur la pupille d'illumination du système optique d'illumination ; et un élément (5B) de modulation de phase qui est disposé sur le chemin optique plus près du côté de la surface à irradier que l'élément de conversion de polarisation. Afin de réduire l'effet de retard dû à un système optique subséquent entre l'élément de conversion de polarisation et la surface à irradier, à partir de la lumière formant la répartition d'intensité à la pupille, l'élément (5B) de modulation de phase convertit la lumière polarisée linéairement, qui est polarisée dans une première direction, en une lumière imposée polarisée elliptiquement, et permet à l'état de polarisation de la lumière polarisée linéairement qui est polarisée dans une deuxième direction (direction X ou direction Y) qui croise obliquement la première direction, de le traverser de façon à être préservée.
(JA)  実施形態の一つは、偏光変換部材の後続光学系によるリターデーションの影響を小さく抑えて、所要の偏光状態の光で被照射面を照明することのできる照明光学系に関する。一実施形態によれば、光源(LS)からの光により被照射面(M)を照明する照明光学系(1~12)は、入射光の偏光状態を変換して、照明光学系の照明瞳に所定の偏光状態の瞳強度分布を形成する偏光変換部材(5A)と、偏光変換部材よりも被照射面側の光路中に配置されて、偏光変換部材と被照射面との間の後続光学系によるリターデーションの影響を低減するために、瞳強度分布を形成する光のうちの第1方向に偏光した直線偏光の光が所要の楕円偏光の光に変換され、且つ第1方向と斜めに交差する第2方向(X方向またはY方向)に偏光した直線偏光の光の偏光状態が維持されるように通過させる位相変調部材(5B)とを備えている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)