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1. (WO2011158828) DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE ET ÉLÉMENT DE PRÉVENTION D'ADHÉRENCE

Pub. No.:    WO/2011/158828    International Application No.:    PCT/JP2011/063583
Publication Date: Fri Dec 23 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Wed Jun 15 01:59:59 CEST 2011
IPC: C23C 14/00
H01L 21/31
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
OHNO, Tetsuhiro
大野 哲宏
SATO, Shigemitsu
佐藤 重光
ISOBE, Tatsunori
磯部 辰徳
SUDA, Tomokazu
須田 具和
Inventors: OHNO, Tetsuhiro
大野 哲宏
SATO, Shigemitsu
佐藤 重光
ISOBE, Tatsunori
磯部 辰徳
SUDA, Tomokazu
須田 具和
Title: DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE ET ÉLÉMENT DE PRÉVENTION D'ADHÉRENCE
Abstract:
L'invention porte sur un élément de prévention d'adhérence, à partir duquel un film mince, déposé pendant le procédé de formation d'un film, ne se détache pas, et sur un dispositif de formation d'un film par pulvérisation cathodique qui possède l'élément de prévention d'adhérence. Les éléments de la prévention d'adhérence (251-254, 35) sont fabriqués en Al2O3, la rugosité arithmétique moyenne de la surface d'adhérence des particules de formation du film étant de 4 μm à 10 μm, et le film déposé étant difficile à détacher. Dans le dispositif de formation du film par pulvérisation cathodique, les éléments de prévention d'adhérence (251-254, 35) sont disposés à des emplacements qui entourent les périphéries des surfaces de pulvérisation cathodique (231-234) de cibles (211-214), et à un emplacement entourant la périphérie de la surface de formation du film d'un substrat (31).