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1. (WO2011158579) LENTILLE DE FOCALISATION ET MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE

Pub. No.:    WO/2011/158579    International Application No.:    PCT/JP2011/060855
Publication Date: Fri Dec 23 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Thu May 12 01:59:59 CEST 2011
IPC: H01J 37/141
H01J 37/26
H01J 37/28
Applicants: INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION NATIONAL INSTITUTES OF NATURAL SCIENCES
大学共同利用機関法人自然科学研究機構
NAGAYAMA IP HOLDINGS, LLC
ナガヤマ アイピー ホールディングス エルエルシー
NAGAYAMA Kuniaki
永山 國昭
NAGATANI Yukinori
永谷 幸則
ARAI Yoshihiro
新井 善博
Inventors: NAGAYAMA Kuniaki
永山 國昭
NAGATANI Yukinori
永谷 幸則
ARAI Yoshihiro
新井 善博
Title: LENTILLE DE FOCALISATION ET MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE
Abstract:
La présente invention a trait à une lentille de focalisation et à un microscope électronique permettant d'observer des spécimens à l'aide d'un faisceau électronique accéléré à une ultra-haute tension, y compris sans utiliser de source d'ultra-haute tension à courant continu, de tube accélérateur à courant continu ou de multiples lentilles électromagnétiques pour ultra-haute tension. Du côté de l'injection d'une paire de lentilles de focalisation constituée de lentilles électromagnétiques (lentille électromagnétique de focalisation préalable (2a), lentille électromagnétique de focalisation postérieure (2b)), un accélérateur hyperfréquence (3) contenant des cavités hyperfréquences est agencé et, du côté de la sortie, un ralentisseur hyperfréquence (4) contenant des cavités hyperfréquences est agencé. De plus, des micro-ondes de phases mutuellement différentes sont fournies aux cavités de l'accélérateur hyperfréquence (3) et du ralentisseur hyperfréquence (4) au moyen d'un guide d'ondes (6) à partir d'un bloc d'alimentation haute fréquence (5).