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1. (WO2011158458) DISPOSITIF À FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES ET COUVERCLE D'INSONORISATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/158458    N° de la demande internationale :    PCT/JP2011/003137
Date de publication : 22.12.2011 Date de dépôt international : 03.06.2011
CIB :
H01J 37/09 (2006.01), G10K 11/16 (2006.01), G10K 11/162 (2006.01), H01J 37/16 (2006.01)
Déposants : HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP) (Tous Sauf US).
MUTO, Daisuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
WATANABE, Masanori [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TSUJI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MATSUSHIMA, Masaru [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MUTO, Daisuke; (JP).
WATANABE, Masanori; (JP).
TSUJI, Hiroshi; (JP).
MATSUSHIMA, Masaru; (JP)
Mandataire : INOUE, Manabu; c/o HITACHI,LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Données relatives à la priorité :
2010-136716 16.06.2010 JP
Titre (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND SOUNDPROOFING COVER
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES ET COUVERCLE D'INSONORISATION
(JA) 荷電粒子線装置および防音カバー
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a soundproofing cover that encloses apparatuses (20; 70) including charged particle beam devices, which are used in a clean room. The soundproofing cover comprises lateral walls (11-14) and a ceiling face (15) that enclose the space wherein the apparatuses are positioned and where soundproofing is desired; a sound absorbing structure part (40), further comprising a plurality of apertures (41a; 46a), facing into the space where soundproofing is desired, and hollow parts (41d; 46d; 46c) that are joined to the plurality of apertures, is disposed in the bottom of the ceiling face; and the sound absorbing structure part has a structure that is specialized to the frequency of a standing wave that arises in the space that is enclosed with the lateral walls and the ceiling face. The sound absorbing structure part employs a member that does not produce dust. Thus, it is possible to provide a soundproofing cover that is capable of efficacious soundproofing and that minimizes the production of dust.
(FR)La présente invention a trait à un couvercle d'insonorisation qui enveloppe des appareils (20 ; 70) incluant des dispositifs à faisceaux de particules chargées, qui sont utilisés dans une salle blanche. Le couvercle d'insonorisation comprend des parois latérales (11-14) et une face de plafond (15) qui enveloppent l'espace où les appareils sont placés et où une insonorisation est recherchée ; une partie de structure d'absorption phonique (40), comprenant en outre une pluralité d'ouvertures (41a ; 46a), orientées vers l'espace où une insonorisation est recherchée, et des parties creuses (41d ; 46d ; 46c) qui sont jointes à la pluralité d'ouvertures, est disposée au fond de la face de plafond ; et la partie de structure d'absorption phonique est dotée d'une structure qui est spécialisée sur la fréquence d'une onde stationnaire qui se présente dans l'espace qui est enveloppé par les parois latérales et la face de plafond. La partie de structure d'absorption phonique emploie un élément qui ne produit pas de poussière. De la sorte, il est possible de fournir un couvercle d'insonorisation qui est en mesure d'assurer une insonorisation efficace et qui permet de minimiser la production de poussière.
(JA)本発明は、クリーンルームで使用される荷電粒子線装置等の機器(20;70)を取り囲む防音カバーであって、前記機器が配置される遮音したい空間を囲む側壁(11-14)と天井面(15)とを有し、前記天井面の下部には、前記遮音したい空間側に向けた複数の孔(41a;46a)と、前記複数の孔につながった空洞部(41d;46d;46e)を有する吸音構造部(40)を設け、前記吸音構造部を前記側壁と前記天井面で囲まれた空間で発生する定在波の周波数に特化した構造とすることを特徴とする。また、吸音構造部には、発塵性のない部材を用いる。 これにより、効果的な防音が可能であって、かつ発塵性を低減した防音カバーを提供することが可能になった。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)