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1. (WO2011158444) APPAREIL DE TRANSFERT ET APPAREIL DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/158444    N° de la demande internationale :    PCT/JP2011/003023
Date de publication : 22.12.2011 Date de dépôt international : 31.05.2011
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01)
Déposants : ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (Tous Sauf US).
MUSHA, Kazuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MINAMI, Hirofumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MUSHA, Kazuhiro; (JP).
MINAMI, Hirofumi; (JP)
Mandataire : OMORI, Junichi; 2nd Floor U&M Akasaka Bldg., 7-5-47 Akasaka, Minato-ku, Tokyo 1070052 (JP)
Données relatives à la priorité :
2010-139693 18.06.2010 JP
Titre (EN) TRANSFER APPARATUS AND PROCESSING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRANSFERT ET APPAREIL DE TRAITEMENT
(JA) 搬送処理装置及び処理装置
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a transfer apparatus wherein a possibility of cable disconnection is eliminated, and highly accurate operation alignment or the like is performed. Also disclosed is a processing apparatus. In the transfer apparatus (3), at positions at a distance from holding sections (18) formed on the hand (16) of a transfer robot (8), first and second electrodes (9a, 9b) are disposed by means of supporting members (10a, 10b). Then, an electric field is applied to the functional adhesive elements (19) of the holding sections (18) via the electrodes. Since there is no need to provide the transfer robot (8) with the electrodes, there is no dragging of cables connected to the electrodes when the transfer robot (8) is being operated. Furthermore, since there is no need to provide the transfer robot (8) with a power supply, the transfer robot (8) is not increased in size and weight. As a result, the possibility of cable disconnection is eliminated, and highly accurate operation alignment and the like can be achieved by means of the transfer apparatus (3).
(FR)La présente invention concerne un appareil de transfert, une possibilité de déconnexion du câble étant éliminée, et un alignement opérationnel de grande précision ou similaire étant effectué. Elle concerne également un appareil de traitement. Dans l'appareil de transfert (3), dans des positions distantes des sections de retenue (18) formées sur la main (16) d'un robot de transfert (8), des première et seconde électrodes (9a, 9b) sont disposées au moyen d'éléments de support (10a, 10b). Puis un champ électrique est appliqué sur les éléments adhésifs fonctionnels (19) des sections de retenue (18) par le biais des électrodes. Etant donné qu'il n'est pas nécessaire de pourvoir le robot de transfert (8) des électrodes, il n'existe pas de traînage des câbles connectés aux électrodes lorsque le robot de transfert (8) est actionné. De plus, étant donné qu'il n'est pas nécessaire de pourvoir le robot de transfert (8) d'une alimentation, la taille et le poids du robot de transfert (8) ne sont pas augmentés. Il en résulte que la possibilité de déconnexion du câble est éliminée, et qu'il est possible d'obtenir un alignement opérationnel de grande précision et similaire au moyen de l'appareil de transfert (3).
(JA)【課題】ケーブル断線のおそれがなく、かつ、動作の位置決め等を高精度に行うことができる搬送処理装置、及び処理装置を提供すること。【解決手段】搬送処理装置(3)では、支持部材(10a)及び(10b)により、搬送ロボット(8)のハンド(16)に形成された保持部(18)から離れた位置に、第1及び第2の電極(9a)及び(9b)が配置される。そして、それら電極を介して保持部(18)の機能性粘着素子(19)に電場が印加される。従って搬送ロボット(8)に電極を設ける必要がないので、搬送ロボット(8)の動作時に、電極に接続されたケーブルが引きずられることがない。また搬送ロボット(8)に電源を設ける必要もないので、搬送ロボット(8)が大型化し重量が大きくなることもない。その結果、ケーブル断線のおそれがなく、かつ、搬送処理装置(3)による高精度な動作の位置決め等を実現することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)