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1. (WO2011158444) APPAREIL DE TRANSFERT ET APPAREIL DE TRAITEMENT

Pub. No.:    WO/2011/158444    International Application No.:    PCT/JP2011/003023
Publication Date: Fri Dec 23 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Wed Jun 01 01:59:59 CEST 2011
IPC: H01L 21/677
B65G 49/07
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
MUSHA, Kazuhiro
武者  和博
MINAMI, Hirofumi
南 展史
Inventors: MUSHA, Kazuhiro
武者  和博
MINAMI, Hirofumi
南 展史
Title: APPAREIL DE TRANSFERT ET APPAREIL DE TRAITEMENT
Abstract:
La présente invention concerne un appareil de transfert, une possibilité de déconnexion du câble étant éliminée, et un alignement opérationnel de grande précision ou similaire étant effectué. Elle concerne également un appareil de traitement. Dans l'appareil de transfert (3), dans des positions distantes des sections de retenue (18) formées sur la main (16) d'un robot de transfert (8), des première et seconde électrodes (9a, 9b) sont disposées au moyen d'éléments de support (10a, 10b). Puis un champ électrique est appliqué sur les éléments adhésifs fonctionnels (19) des sections de retenue (18) par le biais des électrodes. Etant donné qu'il n'est pas nécessaire de pourvoir le robot de transfert (8) des électrodes, il n'existe pas de traînage des câbles connectés aux électrodes lorsque le robot de transfert (8) est actionné. De plus, étant donné qu'il n'est pas nécessaire de pourvoir le robot de transfert (8) d'une alimentation, la taille et le poids du robot de transfert (8) ne sont pas augmentés. Il en résulte que la possibilité de déconnexion du câble est éliminée, et qu'il est possible d'obtenir un alignement opérationnel de grande précision et similaire au moyen de l'appareil de transfert (3).