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1. (WO2011158223) PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE ET DE RÉGULATION DE PROCÉDÉS DE DÉPÔT CHIMIQUE OU ÉLECTROCHIMIQUE DE COUCHES MINCES, ET DISPOSITIF POUR SA MISE EN ŒUVRE

Pub. No.:    WO/2011/158223    International Application No.:    PCT/IB2011/052691
Publication Date: Fri Dec 23 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Tue Jun 21 01:59:59 CEST 2011
IPC: G01N 21/65
Applicants: NEXCIS
UNIVERSITAT DE BARCELONA
FUNDACIÓ INSTITUT DE RECERCA DE L'ENERGIA DE CATALUNYA
BERMÚDEZ BENITO, Verónica
JAIME FERRER, Jesús, Salvador
SAUCEDO SILVA, Edgardo
PÉREZ RODRÍGUEZ, Alejandro
MORANTE LLEONART, Juan, Ramón
FONTANÉ SÁNCHEZ, Javier
IZQUIERDO ROCA, Víctor
ÁLVAREZ GARCÍA, Jacobo
Inventors: BERMÚDEZ BENITO, Verónica
JAIME FERRER, Jesús, Salvador
SAUCEDO SILVA, Edgardo
PÉREZ RODRÍGUEZ, Alejandro
MORANTE LLEONART, Juan, Ramón
FONTANÉ SÁNCHEZ, Javier
IZQUIERDO ROCA, Víctor
ÁLVAREZ GARCÍA, Jacobo
Title: PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE ET DE RÉGULATION DE PROCÉDÉS DE DÉPÔT CHIMIQUE OU ÉLECTROCHIMIQUE DE COUCHES MINCES, ET DISPOSITIF POUR SA MISE EN ŒUVRE
Abstract:
L'invention porte sur un procédé de surveillance et de régulation de procédés de dépôt chimique ou électrochimique de couches minces composites, se fondant sur l'utilisation de solutions et/ou de suspensions en phase liquide, par des mesures en spectroscopie Raman effectuées dans des conditions en temps réel au cours du procédé et/ou à la fin du procédé. Le procédé selon l'invention comprend les étapes suivantes : a) définition des régions spectrales associées aux modes de vibration active Raman des différentes phases caractéristiques de la couche mince ; b) obtention du spectre Raman correspondant à la couche mince en présence de la solution et/ou de la suspension liquide ; c) évaluation des intensités intégrales du spectre obtenues dans chacune desdites régions spectrales ; d) comparaison des intensités intégrales aux valeurs correspondant à un étalonnage antérieur, l'objectif étant de déterminer si l'évolution dans le temps des paramètres de la couche pendant sa croissance, et/ou sa valeur à la fin du procédé, correspondent aux paramètres caractéristiques prédéfinis pour le procédé.