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1. (WO2011157363) DISPOSITIF À PALIER À AIR

Pub. No.:    WO/2011/157363    International Application No.:    PCT/EP2011/002752
Publication Date: Fri Dec 23 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Sun Jun 05 01:59:59 CEST 2011
IPC: B65G 49/06
B65G 51/03
H01L 21/677
Applicants: FESTO AG & CO. KG
SIEBER, Manuel
BIDMON, Michael
KEICHER, Christoph
PATTORA, Ronny
Inventors: SIEBER, Manuel
BIDMON, Michael
KEICHER, Christoph
PATTORA, Ronny
Title: DISPOSITIF À PALIER À AIR
Abstract:
L'invention concerne un dispositif à palier à air comportant au moins un corps de palier (12, 13) qui comporte une pluralité de canaux d'écoulement (16) débouchant au niveau d'une surface d'appui (14, 15) du corps de palier (12, 13) et permettant le passage d'air comprimé. La surface d'appui (14, 15) coopère avec une surface antagoniste (18, 19) lui faisant face d'un corps de substrat (25), de telle sorte qu'un coussin d'air (20, 21) générant un intervalle de palier (22, 23) peut être produit entre la surface d'appui (14, 15) et la surface antagoniste (18, 19) à l'aide de l'air comprimé sortant, les deux surfaces étant écartées l'une de l'autre selon une distance correspondant à une ouverture de l'intervalle de palier (22, 23). Le corps de palier fait partie, en tant que premier corps de palier, d'un dispositif de serrage pneumatique (40) qui présente en outre un second corps de palier (13) muni d'une pluralité de canaux d'écoulement (16) débouchant sur une seconde surface de palier (15) du second corps de palier (13), les deux surfaces de palier (14, 15) étant opposées l'une à l'autre et le corps de substrat (25) pouvant être positionné entre les surfaces d'appui (14, 15) de telle sorte qu'il peut être serré de manière pneumatique, de part et d'autre du corps de substrat (25), dans la position souhaitée dans une direction perpendiculaire par rapport aux surfaces d'appui (14, 15), par les deux coussins d'air (20, 21) produits entre les surfaces d'appui (14, 15) et les surfaces antagonistes (18, 19) respectivement associées.