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1. (WO2011156371) RÉACTEUR À DISQUE TOURNANT ET À PLUSIEURS PLAQUETTES AVEC UN ENTRAÎNEMENT PLANÉTAIRE INERTIEL

Pub. No.:    WO/2011/156371    International Application No.:    PCT/US2011/039441
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Wed Jun 08 01:59:59 CEST 2011
IPC: H01L 21/687
Applicants: VEECO INSTRUMENTS, INC.
LUSE, Todd, Arthur
PARANJPE, Ajit, Pramod
CELARU, Adrian
SCANDARIATO, Joseph
TANG, Quinfu
Inventors: LUSE, Todd, Arthur
PARANJPE, Ajit, Pramod
CELARU, Adrian
SCANDARIATO, Joseph
TANG, Quinfu
Title: RÉACTEUR À DISQUE TOURNANT ET À PLUSIEURS PLAQUETTES AVEC UN ENTRAÎNEMENT PLANÉTAIRE INERTIEL
Abstract:
La présente invention concerne des supports de plaquettes et des procédés permettant de déplacer des plaquettes dans un réacteur. Le support de plaquettes (220) peut comprendre un plateau (215) doté d'une pluralité de compartiments et une pluralité de plateformes de plaquettes (210). Le plateau (215) est conçu pour tourner autour d'un premier axe. Chacune des plateformes de plaquettes (210) est associée à l'un des compartiments et est conçue pour tourner autour d'un second axe respectif par rapport au compartiment respectif (770). Ledit plateau (215) et lesdites plateformes de plaquettes (210) tournent à des vitesses angulaires différentes afin de créer un mouvement planétaire entre eux. Le procédé peut consister à faire tourner un plateau (215) autour d'un premier axe de rotation. Le procédé peut consister en outre à faire tourner chaque plateforme d'une pluralité de plateformes de plaquettes (210) portées par le plateau (215) ainsi qu'à déplacer les plaquettes (200) autour d'un second axe de rotation respectif et à une vitesse angulaire différente de celle du plateau (215) afin de créer un mouvement planétaire entre eux.