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1. (WO2011156371) RÉACTEUR À DISQUE TOURNANT ET À PLUSIEURS PLAQUETTES AVEC UN ENTRAÎNEMENT PLANÉTAIRE INERTIEL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/156371    N° de la demande internationale :    PCT/US2011/039441
Date de publication : 15.12.2011 Date de dépôt international : 07.06.2011
CIB :
H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : VEECO INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 1 Terminal Drive Plainview, NY 11803 (US) (Tous Sauf US).
LUSE, Todd, Arthur [US/US]; (US) (US Seulement).
PARANJPE, Ajit, Pramod [US/US]; (US) (US Seulement).
CELARU, Adrian [US/US]; (US) (US Seulement).
SCANDARIATO, Joseph [US/US]; (US) (US Seulement).
TANG, Quinfu [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LUSE, Todd, Arthur; (US).
PARANJPE, Ajit, Pramod; (US).
CELARU, Adrian; (US).
SCANDARIATO, Joseph; (US).
TANG, Quinfu; (US)
Mandataire : ALLEN, William, R.; Wood, Herron & Evans, LLP 2700 Carew Tower 441 Vine Street Cincinnati, OH 45202-2917 (US)
Données relatives à la priorité :
61/351,966 07.06.2010 US
13/153,679 06.06.2011 US
Titre (EN) MULTI-WAFER ROTATING DISC REACTOR WITH INERTIAL PLANETARY DRIVE
(FR) RÉACTEUR À DISQUE TOURNANT ET À PLUSIEURS PLAQUETTES AVEC UN ENTRAÎNEMENT PLANÉTAIRE INERTIEL
Abrégé : front page image
(EN)Wafer carriers and methods for moving wafers in a reactor. The wafer carrier (220) may include a platen (215) with a plurality of compartments and a plurality of wafer platforms (210). The platen (215) is configured to rotate about a first axis. Each of the wafer platforms (210) is associated with one of the compartments and is configured to rotate about a respective second axis relative to the respective compartment (770). The platen (215) and the wafer platforms (210) rotate with different angular velocities to create planetary motion therebetween. The method may include rotating a platen (215) about a first axis of rotation. The method further includes rotating each of a plurality of wafer platforms (210) carried on the platen (215) and carrying the wafers (200) about a respective second axis of rotation and with a different angular velocity than the platen (215) to create planetary motion therebetween.
(FR)La présente invention concerne des supports de plaquettes et des procédés permettant de déplacer des plaquettes dans un réacteur. Le support de plaquettes (220) peut comprendre un plateau (215) doté d'une pluralité de compartiments et une pluralité de plateformes de plaquettes (210). Le plateau (215) est conçu pour tourner autour d'un premier axe. Chacune des plateformes de plaquettes (210) est associée à l'un des compartiments et est conçue pour tourner autour d'un second axe respectif par rapport au compartiment respectif (770). Ledit plateau (215) et lesdites plateformes de plaquettes (210) tournent à des vitesses angulaires différentes afin de créer un mouvement planétaire entre eux. Le procédé peut consister à faire tourner un plateau (215) autour d'un premier axe de rotation. Le procédé peut consister en outre à faire tourner chaque plateforme d'une pluralité de plateformes de plaquettes (210) portées par le plateau (215) ainsi qu'à déplacer les plaquettes (200) autour d'un second axe de rotation respectif et à une vitesse angulaire différente de celle du plateau (215) afin de créer un mouvement planétaire entre eux.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)