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1. (WO2011156283) TRAITEMENT LASER À SOUS-MATRICES ORIENTÉES

Pub. No.:    WO/2011/156283    International Application No.:    PCT/US2011/039304
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Tue Jun 07 01:59:59 CEST 2011
IPC: B23K 26/067
B23K 26/38
B23K 26/073
Applicants: GSI GROUP CORPORATION
LAUER, William
EHRMANN, Jonathan, S.
GRIFFITHS, Joseph, J.
Inventors: LAUER, William
EHRMANN, Jonathan, S.
GRIFFITHS, Joseph, J.
Title: TRAITEMENT LASER À SOUS-MATRICES ORIENTÉES
Abstract:
Dans un système servant à couper les liaisons conductrices par irradiation au laser pour réparer des dispositifs électroniques, des faisceaux laser multiples sont déviés à grande vitesse pour cibler les liaisons sélectionnées pour un traitement en positionnant les points laser dans un motif à deux dimensions pendant un mouvement relatif d'un substrat et d'un système de production de faisceau. En augmentant la flexibilité de ciblage de liaison, la sélection peut être requise depuis un grand nombre de paires de liaisons adressables. Divers modes de réalisation utilisent avantageusement la déviation du faisceau et la division du faisceau pour améliorer les vitesses de traitement de réparation de mémoire.