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1. (WO2011156141) ENSEMBLE FENÊTRE À UTILISER DANS DES SYSTÈMES DE TRAITEMENT DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/156141    N° de la demande internationale :    PCT/US2011/038053
Date de publication : 15.12.2011 Date de dépôt international : 26.05.2011
CIB :
H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
CARLSON, David, K. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : CARLSON, David, K.; (US)
Mandataire : TABOADA, Alan; Moser IP Law Group 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, NJ 07702 (US)
Données relatives à la priorité :
61/352,630 08.06.2010 US
13/112,109 20.05.2011 US
Titre (EN) WINDOW ASSEMBLY FOR USE IN SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS
(FR) ENSEMBLE FENÊTRE À UTILISER DANS DES SYSTÈMES DE TRAITEMENT DE SUBSTRATS
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments of a window assembly are provided herein. In some embodiments, a window assembly for use in a substrate processing system comprising a first window at least partially transparent to light energy; a second window transparent to light energy and substantially parallel to the first window; and a separator disposed proximate the peripheral edges of the first and second windows and defining a sealed gap between the first and second windows, wherein the separator has an inlet and outlet to flow a gas through the sealed gap. In some embodiments, one or more support elements are disposed in the sealed gap to maintain a substantially uniform gap distance between the first and second windows. In some embodiments, a plurality of light adjusting elements are disposed in the gap to adjust one or more properties of light energy that passes through the light adjusting element.
(FR)La présente invention concerne, dans différents modes de réalisation, un ensemble fenêtre. Dans certains modes de réalisation, un ensemble fenêtre destiné à être utilisé dans un système de traitement de substrats comporte une première fenêtre au moins partiellement transparente à l'énergie lumineuse ; une deuxième fenêtre transparente à l'énergie lumineuse et sensiblement parallèle à la première fenêtre ; et un séparateur disposé à proximité des bords périphériques des première et deuxième fenêtres et définissant un espace isolé entre les première et deuxième fenêtres, le séparateur comportant une entrée et une sortie afin de faire circuler un gaz à travers l'espace isolé. Dans certains modes de réalisation, un ou plusieurs éléments de soutien sont disposés dans l'espace isolé pour maintenir un écartement sensiblement uniforme entre les première et deuxième fenêtres. Dans certains modes de réalisation, une pluralité d'éléments régleurs de lumière est disposée dans l'espace afin de régler une ou plusieurs propriétés de l'énergie lumineuse qui traverse l'élément régleur de lumière.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)