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1. (WO2011156028) NANOSTRUCTURES POREUSES ET NON POREUSES

Pub. No.:    WO/2011/156028    International Application No.:    PCT/US2011/027746
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Thu Mar 10 00:59:59 CET 2011
IPC: C01B 31/02
B82B 1/00
H01L 21/70
H01L 21/762
Applicants: BOARD OF REGENTS OF THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM
FERRARI, Mauro
LIU, Xuewu
CHIAPPINI, Ciro
FAKHOURY, Jean, Raymond
Inventors: FERRARI, Mauro
LIU, Xuewu
CHIAPPINI, Ciro
FAKHOURY, Jean, Raymond
Title: NANOSTRUCTURES POREUSES ET NON POREUSES
Abstract:
L'invention porte sur une variété de structures du type fil poreuses et non poreuses d'échelle microscopique et nanoscopique. Par exemple, il est décrit des structures qui comprennent un objet poreux qui comprend : (i) une première région ; et (ii) une seconde région adjacente à la première région le long d'un axe de l'objet, la première région ayant au moins une propriété poreuse différente de celle de la seconde région. Il est également décrit des structures qui comprennent : (i) un silicium de résistivité élevée ; et (ii) une section transversale qui est sensiblement perpendiculaire à un axe de l'objet. L'invention porte également sur des procédés de fabrication et d'utilisation de telles structures. Par exemple, la présente invention porte sur des procédés de réalisation d'un objet poreux par : (i) obtention d'un substrat pouvant être gravé ; (ii) formation sur une surface du substrat d'une couche métallique d'assistance à la porosité présentant un certain motif qui a au moins une ouverture ; et (iii) ensuite, exposition du substrat à une première solution de gravure et à une seconde solution de gravure afin de former, respectivement, une première région et une seconde région d'un objet poreux.