Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2011155661) CELLULE D'EFFUSION LINÉAIRE, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET ÉVAPORATEUR L'UTILISANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2011/155661 N° de la demande internationale : PCT/KR2010/005031
Date de publication : 15.12.2011 Date de dépôt international : 30.07.2010
CIB :
C23C 14/24 (2006.01) ,C23C 14/04 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22
caractérisé par le procédé de revêtement
24
Evaporation sous vide
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
04
Revêtement de parties déterminées de la surface, p.ex. au moyen de masques
Déposants :
WOO, Deok Ha [KR/KR]; KR (UsOnly)
KIM, Sun Ho [KR/KR]; KR (UsOnly)
LEE, Seok [KR/KR]; KR (UsOnly)
BYUN, Young Tae [KR/KR]; KR (UsOnly)
JHON, Young Min [KR/KR]; KR (UsOnly)
KIM, Jae Hun [KR/KR]; KR (UsOnly)
PARK, Min Chul [KR/KR]; KR (UsOnly)
KIM, Shin Geun [KR/KR]; KR (UsOnly)
JUNG, Yong Woo [KR/KR]; KR (UsOnly)
KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY [KR/KR]; 39-1, Hawolgok-dong, Seongbuk-gu Seoul 136-791, KR (AllExceptUS)
Inventeurs :
WOO, Deok Ha; KR
KIM, Sun Ho; KR
LEE, Seok; KR
BYUN, Young Tae; KR
JHON, Young Min; KR
KIM, Jae Hun; KR
PARK, Min Chul; KR
KIM, Shin Geun; KR
JUNG, Yong Woo; KR
Mandataire :
LEE, Jong-ll; Daeil Int'l Patent & Law Firm Byucksan Digitalvalley Vii 901 170-13, Guro-dong, Guro-gu Seoul 152-742, KR
Données relatives à la priorité :
10-2010-005488110.06.2010KR
Titre (EN) LINEAR EFFUSION CELL, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND EVAPORATOR USING THE SAME
(FR) CELLULE D'EFFUSION LINÉAIRE, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET ÉVAPORATEUR L'UTILISANT
Abrégé :
(EN) Disclosed herein is a linear effusion cell, which is used in a vacuum deposition system, including: a crucible made of pyrolytic boron nitride (PBN), having an open upper portion and containing a raw material; a first heat generating unit formed on an outer surface of the crucible and having a pattern suitable for heating; an array of orifices formed through the lateral sides of the crucible and the first heat generating unit.
(FR) La présente invention concerne une cellule d'effusion linéaire utilisée dans un système de dépôt par évaporation sous vide et comprenant : un creuset en nitrure de bore pyrolytique (PBN) ayant une partie supérieure ouverte et contenant une matière première ; une première unité de production de chaleur formée sur une surface extérieure du creuset et ayant une configuration appropriée pour le chauffage ; une matrice d'orifices formés à travers les parois latérales du creuset et de la première unité de production de chaleur.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)