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1. (WO2011155548) APPAREIL DE NETTOYAGE PAR ULTRASONS ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE PAR ULTRASONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2011/155548 N° de la demande internationale : PCT/JP2011/063195
Date de publication : 15.12.2011 Date de dépôt international : 02.06.2011
CIB :
B08B 3/12 (2006.01) ,C23G 3/00 (2006.01) ,C23G 5/00 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : TUZIUTI, Toru[JP/JP]; JP (UsOnly)
IIDA, Yasuo[JP/JP]; JP (UsOnly)
YASUI, Kyuichi[JP/JP]; JP (UsOnly)
IMAZEKI, Yasuhiro[JP/JP]; JP (UsOnly)
HASEGAWA, Hiroshi[JP/JP]; JP (UsOnly)
NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY[JP/JP]; 3-1, Kasumigaseki 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008921, JP (AllExceptUS)
KAIJO CORPORATION[JP/JP]; 3-1-5, Sakae-cho, Hamura-shi, Tokyo 2058607, JP (AllExceptUS)
Inventeurs : TUZIUTI, Toru; JP
IIDA, Yasuo; JP
YASUI, Kyuichi; JP
IMAZEKI, Yasuhiro; JP
HASEGAWA, Hiroshi; JP
Mandataire : YANASE, Mutsuyasu; PATENT ATTORNEYS SHINPO, 8th Floor, UK Building, 1-32-14, Takadanobaba, Shinjuku-ku, Tokyo 1690075, JP
Données relatives à la priorité :
2010-13021107.06.2010JP
Titre (EN) ULTRASONIC CLEANING APPARATUS AND ULTRASONIC CLEANING METHOD
(FR) APPAREIL DE NETTOYAGE PAR ULTRASONS ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE PAR ULTRASONS
(JA) 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法
Abrégé : front page image
(EN) Disclosed are an ultrasonic cleaning apparatus and an ultrasonic cleaning method, whereby cleaning nonuniformity generated after ultrasonically cleaning a subject to be cleaned is suppressed. The ultrasonic cleaning apparatus is provided with: a cleaning tank (21) having a cleaning solution (23) therein; first and second ultrasonic vibrators (34a, 34b), which apply ultrasonic vibration to the subject to be cleaned (22) which is immersed in the cleaning solution in the cleaning tank; a first ultrasonic oscillator (36) which applies high frequency output to the first ultrasonic vibrator; a second ultrasonic oscillator (37) which applies high frequency output to the second ultrasonic vibrator; and a controller (38) which performs control by changing the output of the first and/or second ultrasonic oscillator. The first ultrasonic waves oscillated by the first ultrasonic vibrator are interfered with by the second ultrasonic waves oscillated by the second ultrasonic vibrator.
(FR) L'invention concerne un appareil de nettoyage par ultrasons et un procédé de nettoyage par ultrasons, la non uniformité de nettoyage générée après le nettoyage par ultrasons d'un objet devant être nettoyé étant supprimée. L'appareil de nettoyage par ultrasons comprend : un réservoir de nettoyage (21) comprenant une solution de nettoyage (23) à l'intérieur ; des premier et second vibrateurs ultrasoniques (34a, 34b), qui appliquent une vibration ultrasonique à l'objet devant être nettoyé (22) qui est immergé dans la solution de nettoyage dans le réservoir de nettoyage ; un premier oscillateur ultrasonique (36) qui applique une sortie haute fréquence au premier vibrateur ultrasonique ; un second oscillateur ultrasonique (37) qui applique une sortie haute fréquence au second vibrateur ultrasonique ; et un dispositif de commande (38) qui réalise une commande en modifiant la sortie du premier et/ou du second oscillateur ultrasonique. Les premières ondes ultrasoniques oscillées par le premier vibrateur ultrasonique interfèrent avec les secondes ondes ultrasoniques oscillées par le second vibrateur ultrasonique.
(JA)  被洗浄物を超音波洗浄した後の洗浄ムラの発生を抑制できる超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法を提供する。本発明の一態様は、洗浄液(23)が入れられる洗浄槽(21)と、前記洗浄槽内の洗浄液に浸漬された被洗浄物(22)に超音波振動を与える第1及び第2の超音波振動子(34a,34b)と、前記第1の超音波振動子に高周波出力を印加する第1の超音波発振器(36)と、前記第2の超音波振動子に高周波出力を印加する第2の超音波発振器(37)と、前記第1及び第2の超音波発振器の少なくとも一方の出力を変動させて制御するコントローラ(38)と、を具備し、前記第1の超音波振動子から発振された第1の超音波を、前記第2の超音波振動子から発振された第2の超音波に干渉させることを特徴とする超音波洗浄装置である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)