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1. (WO2011155356) SYSTÈME DE TRANSPORT RELIÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2011/155356 N° de la demande internationale : PCT/JP2011/062332
Date de publication : 15.12.2011 Date de dépôt international : 30.05.2011
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 05.04.2012
CIB :
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 45/02 (2006.01) ,B65D 85/86 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673
utilisant des supports spécialement adaptés
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65
MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
D
RÉCEPTACLES POUR L'EMMAGASINAGE OU LE TRANSPORT D'OBJETS OU DE MATÉRIAUX, p.ex. SACS, TONNEAUX, BOUTEILLES, BOÎTES, BIDONS, CAISSES, BOCAUX, RÉSERVOIRS, TRÉMIES OU CONTENEURS D'EXPÉDITION; ACCESSOIRES OU FERMETURES POUR CES RÉCEPTACLES; ÉLÉMENTS D'EMBALLAGE; PAQUETS
45
Dispositifs de serrage ou autres dispositifs presseurs pour fixer ou retenir les éléments de fermeture
02
exerçant une pression axiale serrant la fermeture contre la surface d'étanchéité
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65
MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
D
RÉCEPTACLES POUR L'EMMAGASINAGE OU LE TRANSPORT D'OBJETS OU DE MATÉRIAUX, p.ex. SACS, TONNEAUX, BOUTEILLES, BOÎTES, BIDONS, CAISSES, BOCAUX, RÉSERVOIRS, TRÉMIES OU CONTENEURS D'EXPÉDITION; ACCESSOIRES OU FERMETURES POUR CES RÉCEPTACLES; ÉLÉMENTS D'EMBALLAGE; PAQUETS
85
Réceptacles, éléments d'emballage ou paquets spécialement adaptés aux objets ou aux matériaux particuliers
86
pour des éléments électriques
Déposants : HARA Shiro[JP/JP]; JP (UsOnly)
MAEKAWA Hitoshi[JP/JP]; JP (UsOnly)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology[JP/JP]; 3-1, Kasumigaseki 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008921, JP (AllExceptUS)
Inventeurs : HARA Shiro; JP
MAEKAWA Hitoshi; JP
Mandataire : HASEBE Zentaro; Hatsumei-Kaikan Bldg. 5F., 2-9-14, Toranomon Minato-ku, Tokyo 1050001, JP
Données relatives à la priorité :
2010-13147108.06.2010JP
Titre (EN) CONNECTED CONVEYANCE SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE TRANSPORT RELIÉ
(JA) 連結搬送システム
Abrégé :
(EN) In conventional conveyance systems for wafers, etc., the connection between a container and a front chamber was formed by a complicated mechanism, because the front chamber was provided beforehand on a device and an object to be conveyed was conveyed from the container to a device region by passing the object to be conveyed through the front chamber. Disclosed is a connected system wherein: a conveyance container (7) has a tightly connectable seal structure for a conveyance container body (11) and a conveyance container door (12); a device (8) has a tightly connectable seal structure for a device main body (13) and a device door (9); the conveyance container and the device both have tightly connectable seal structures; an air-tight connecting chamber is formed only when the conveyance container and the device are tightly connected; the structure is such that the conveyance container door is separated from the conveyance container and taken inside the device; the conveyance container main body and the conveyance container door have a magnet and/or a magnetic body (28, 27) and form the conveyance container that has a structure whereby the conveyance container door and the conveyance container are closed by the magnetic force between said magnet and/or magnetic body; and the device has the device main body and the device door that has a magnet (26).
(FR) Dans des systèmes de transport classiques pour des tranches, etc., la liaison entre un contenant et une chambre avant était formée par un mécanisme compliqué, étant donné que la chambre avant était disposée au préalable sur un dispositif et qu'un objet à transporter était transporté du contenant à une région de dispositif en faisant passer l'objet à transporter à travers la chambre avant. L'invention porte par conséquent sur un système relié, dans lequel : un contenant de transport (7) a une structure d'étanchéité pouvant être reliée étroitement pour un corps de contenant de transport (11) et une porte de contenant de transport (12); un dispositif (8) a une structure d'étanchéité pouvant être reliée étroitement pour un corps principal de dispositif (13) et une porte de dispositif (9); le contenant de transport et le dispositif ont tous deux des structures d'étanchéité pouvant être reliées étroitement; une chambre de liaison étanche vis-à-vis de l'air est formée uniquement lorsque le contenant de transport et le dispositif sont étroitement reliés; la structure est telle que la porte de contenant de transport est séparée du contenant de transport et prise à l'intérieur du dispositif; le corps principal de contenant de transport et la porte de contenant de transport ont un aimant et/ou un corps magnétique (28, 27) et forment le contenant de transport qui a une structure par laquelle la porte de contenant de transport et le contenant de transport sont fermés par la force magnétique entre ledit aimant et/ou ledit corps magnétique; et le dispositif a le corps principal de dispositif et la porte de dispositif qui ont un aimant (26).
(JA) 従来ウエハ等の搬送システムにおいて、予め装置に前室を設けた上で容器から、被搬送物を前室を通じることで装置区域に被搬送物を搬送していたため、容器と前室との接続が複雑な機構によってなされていた。本発明は、搬送容器(7)は、搬送容器本体(11)と搬送容器扉(12)の密着連結可能なシール構造を有し、装置(8)は、装置本体(13)と装置扉(9)の密着連結可能なシール構造を有し、さらに、搬送容器と装置は、両者が密着連結可能なシール構造を有し、搬送容器と装置が密着連結したときだけ、密閉化された連結室を形成し、搬送容器扉が搬送容器から分離し装置内に取り込まれる構造を有し、搬送容器本体と搬送容器扉は磁石及び/又は磁性体(28)、(27)を有して、これらの間の磁気力により搬送容器扉と搬送容器を閉じる構造を有する搬送容器を構成し、装置本体と磁石(26)を有する装置扉を有する装置からなる連結システム。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)