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1. (WO2011155336) SYSTÈME DE LAVAGE, ET PROCÉDÉ DE LAVAGE

Pub. No.:    WO/2011/155336    International Application No.:    PCT/JP2011/062059
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Fri May 27 01:59:59 CEST 2011
IPC: H01L 21/304
Applicants: Kurita Water Industries Ltd.
栗田工業株式会社
UCHIDA Minoru
内田 稔
NAGAI Tatsuo
永井 達夫
Inventors: UCHIDA Minoru
内田 稔
NAGAI Tatsuo
永井 達夫
Title: SYSTÈME DE LAVAGE, ET PROCÉDÉ DE LAVAGE
Abstract:
Dans une section de réservoir de déchets liquides dans lequel une réserve, ou autre matériau semblable, doit être décomposée dans les déchets liquides évacués depuis un appareil de lavage, il est possible de réaliser efficacement cette décomposition même durant l'arrêt du lavage. La présente invention concerne spécifiquement un système de lavage, comprenant : une unité d'électrolyse, qui permet d'électrolyser une solution d'acide sulfurique afin de produire de l'acide persulfurique; une section de réservoir de solution électrolytique, dans laquelle est stockée la solution d'acide sulfurique électrolysée; une première ligne de circulation, qui permet de faire circuler la solution d'acide sulfurique entre l'unité d'électrolyse et la section de réservoir de solution électrolytique; une unité de lavage, qui permet de laver un matériau d'intérêt en utilisant la solution d'acide sulfurique contenant de l'acide persulfurique; une unité de chauffage, qui permet de chauffer la solution d'acide sulfurique devant être utilisée dans l'unité de lavage; une section de réservoir de déchets liquides, dans laquelle est stockée la solution d'acide sulfurique qui a été utilisée dans l'unité de lavage; une deuxième ligne de circulation, qui permet d'alimenter, à travers l'unité de chauffage, l'unité de lavage en solution d'acide sulfurique qui a été électrolysée dans l'unité d'électrolyse, et qui permet de faire circuler, à travers la section de réservoir de déchets liquides, la solution d'acide sulfurique qui a été utilisée pour le lavage dans l'unité de lavage; et une troisième ligne de circulation, qui permet d'alimenter la section de réservoir de déchets liquides en solution d'acide sulfurique qui a été électrolysée dans l'unité d'électrolyse, sans impliquer l'unité de lavage, et qui permet de faire circuler la solution d'acide sulfurique.