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1. (WO2011155336) SYSTÈME DE LAVAGE, ET PROCÉDÉ DE LAVAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/155336    N° de la demande internationale :    PCT/JP2011/062059
Date de publication : 15.12.2011 Date de dépôt international : 26.05.2011
CIB :
H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : Kurita Water Industries Ltd. [JP/JP]; 10-1, Nakano 4-chome, Nakano-ku, Tokyo 1640001 (JP) (Tous Sauf US).
UCHIDA Minoru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NAGAI Tatsuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : UCHIDA Minoru; (JP).
NAGAI Tatsuo; (JP)
Mandataire : YOKOI Koki; 2nd Floor, Mita 3chome BLDG. 4-11, Mita 3-chome, Minato-ku Tokyo 1080073 (JP)
Données relatives à la priorité :
2010-130573 07.06.2010 JP
Titre (EN) WASHING SYSTEM AND WASHING METHOD
(FR) SYSTÈME DE LAVAGE, ET PROCÉDÉ DE LAVAGE
(JA) 洗浄システムおよび洗浄方法
Abrégé : front page image
(EN)In a liquid waste reservoir section in which a resist or the like is to be decomposed in a liquid waste discharged from a washing apparatus, it is possible to achieve the decomposition effectively even during the arrest of the washing. Specifically disclosed is a washing system comprising: an electrolysis unit which can electrolyze a sulfuric acid solution to produce persulfuric acid; an electrolytic solution reservoir section in which the electrolyzed sulfuric acid solution is stored; a first circulation line which can circulate the sulfuric acid solution between the electrolysis unit and the electrolytic solution reservoir section; a washing unit which can wash a material of interest using the sulfuric acid solution containing persulfuric acid; a heating unit which can heat the sulfuric acid solution that is to be used in the washing unit; a liquid waste reservoir section in which the sulfuric acid solution that has been used in the washing unit is stored; a second circulation line which can feed the sulfuric acid solution that has been electrolyzed in the electrolysis unit to the washing unit through the heating unit and can circulate the sulfuric acid solution that has been used for washing in the washing unit through the liquid waste reservoir section; and a third circulation line which can feed the sulfuric acid solution that has been electrolyzed in the electrolysis unit to the liquid waste reservoir section without involving the washing unit and can circulate the sulfuric acid solution.
(FR)Dans une section de réservoir de déchets liquides dans lequel une réserve, ou autre matériau semblable, doit être décomposée dans les déchets liquides évacués depuis un appareil de lavage, il est possible de réaliser efficacement cette décomposition même durant l'arrêt du lavage. La présente invention concerne spécifiquement un système de lavage, comprenant : une unité d'électrolyse, qui permet d'électrolyser une solution d'acide sulfurique afin de produire de l'acide persulfurique; une section de réservoir de solution électrolytique, dans laquelle est stockée la solution d'acide sulfurique électrolysée; une première ligne de circulation, qui permet de faire circuler la solution d'acide sulfurique entre l'unité d'électrolyse et la section de réservoir de solution électrolytique; une unité de lavage, qui permet de laver un matériau d'intérêt en utilisant la solution d'acide sulfurique contenant de l'acide persulfurique; une unité de chauffage, qui permet de chauffer la solution d'acide sulfurique devant être utilisée dans l'unité de lavage; une section de réservoir de déchets liquides, dans laquelle est stockée la solution d'acide sulfurique qui a été utilisée dans l'unité de lavage; une deuxième ligne de circulation, qui permet d'alimenter, à travers l'unité de chauffage, l'unité de lavage en solution d'acide sulfurique qui a été électrolysée dans l'unité d'électrolyse, et qui permet de faire circuler, à travers la section de réservoir de déchets liquides, la solution d'acide sulfurique qui a été utilisée pour le lavage dans l'unité de lavage; et une troisième ligne de circulation, qui permet d'alimenter la section de réservoir de déchets liquides en solution d'acide sulfurique qui a été électrolysée dans l'unité d'électrolyse, sans impliquer l'unité de lavage, et qui permet de faire circuler la solution d'acide sulfurique.
(JA) 洗浄装置排液でのレジストなどの分解を図る排液貯留部で、洗浄を停止している際にも前記分解を効果的に行うことを可能にする。 硫酸溶液を電解して過硫酸を生成する電解部と、電解された硫酸溶液を貯留する電解液貯留部と、電解部と電解液貯留部との間で硫酸溶液を循環させる第1の循環ラインと、過硫酸を含む前記硫酸溶液を用いて被洗浄材を洗浄する洗浄装置と、洗浄装置で用いられる硫酸溶液を加熱する加熱部と、洗浄装置で用いられた硫酸溶液を貯留する排液貯留部と、電解部で電解された硫酸溶液を前記加熱部を介して前記洗浄装置に送液し、前記洗浄装置で洗浄に用いた硫酸溶液を前記排液貯留部を介して環流させる第2の循環ラインと、前記電解部で電解された硫酸溶液を洗浄部を介することなく前記排液貯留部に送液し、環流させる第3の循環ラインを備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)