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1. (WO2011155271) PROCÉDÉ DE MESURE DE HAUTEUR DE POINT D'ÉVASEMENT DE TÊTE D'ENREGISTREMENT MAGNÉTIQUE PERPENDICULAIRE

Pub. No.:    WO/2011/155271    International Application No.:    PCT/JP2011/059946
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Sat Apr 23 01:59:59 CEST 2011
IPC: G11B 5/455
G11B 5/31
Applicants: HITACHI, LTD.
株式会社日立製作所
MATSUMURA Toru
松村 徹
TAKAHASHI Toshio
高橋 俊雄
Inventors: MATSUMURA Toru
松村 徹
TAKAHASHI Toshio
高橋 俊雄
Title: PROCÉDÉ DE MESURE DE HAUTEUR DE POINT D'ÉVASEMENT DE TÊTE D'ENREGISTREMENT MAGNÉTIQUE PERPENDICULAIRE
Abstract:
Lors d'une mesure de taux de variation d'intensité de champ magnétique de manière à estimer une hauteur de point d'évasement, un bruit de mesure, etc., peut masquer la différence dans le taux de variation d'intensité de signal due aux dimensions du point d'évasement, entraînant de faibles rapports signal sur bruit (S/N), ce qui rend difficile d'estimer la hauteur du point d'évasement. Selon l'invention, par préparation d'échantillons ayant divers points d'évasement, et mesure de l'intensité de champ magnétique au niveau de points de mesure en lesquels un espacement de position de pic d'une norme donnée peut être obtenu pour chaque échantillon, mesure précise d'une hauteur de point d'évasement dans chacun de ces échantillons à l'aide de méthodes de mesure destructrices telles que FIB et gravure et préparation d'une base de données des relations entre ces hauteurs de point d'évasement et des intensités de champ magnétique, il est ensuite possible d'estimer une hauteur de point d'évasement dans cet échantillon d'une manière non destructrice par mesure de l'intensité de champ magnétique dans l'espacement de position de pic qui devient la norme du nouvel échantillon de tête magnétique et consultation de la base de données susmentionnée.