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1. (WO2011155122) DISPOSITIF D'INSPECTION DE TRACÉ DE CIRCUIT, ET PROCÉDÉ D'INSPECTION ASSOCIÉ

Pub. No.:    WO/2011/155122    International Application No.:    PCT/JP2011/002659
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Sat May 14 01:59:59 CEST 2011
IPC: H01L 21/66
G01N 23/225
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社 日立ハイテクノロジーズ
HIROI, Takashi
広井 高志
NOZOE, Mari
野副 真理
YAMAMOTO, Takuma
山本 琢磨
NOJIRI, Masaaki
野尻 正明
OKAMURA, Mitsuru
岡村 充
Inventors: HIROI, Takashi
広井 高志
NOZOE, Mari
野副 真理
YAMAMOTO, Takuma
山本 琢磨
NOJIRI, Masaaki
野尻 正明
OKAMURA, Mitsuru
岡村 充
Title: DISPOSITIF D'INSPECTION DE TRACÉ DE CIRCUIT, ET PROCÉDÉ D'INSPECTION ASSOCIÉ
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif d'inspection de tracé de circuit destiné à inspecter un tracé de circuit par : montage, sur une platine échantillon, d'un substrat échantillon sur lequel est formé un tracé de circuit ; déplacement de la platine échantillon dans une direction prédéterminée ; balayage d'un faisceau à partir d'une direction croisant le mouvement de la platine échantillon ; et détection de signaux secondaires générés depuis un échantillon en tant qu'image d'inspection. La vitesse de déplacement de la platine échantillon et la vitesse de balayage du faisceau sont ralenties dans une région présentant un tracé de forte densité, et accélérées dans une région présentant un tracé de basse densité, réalisant ainsi une inspection par changement de la taille de pixel de l'image d'inspection. Il est ainsi possible de réaliser une inspection à une vitesse élevée et à une sensibilité adaptée aux caractéristiques du tracé ou à la densité du tracé d'un dispositif.