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1. (WO2011154554) DISPOSITIF DE REVÊTEMENT SOUS VIDE DE CONSTRUCTION MODULAIRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2011/154554 N° de la demande internationale : PCT/EP2011/059813
Date de publication : 15.12.2011 Date de dépôt international : 14.06.2011
CIB :
C23C 14/56 (2006.01)
Déposants : SMOLKE, Matthias[DE/DE]; DE (UsOnly)
KLOOSS, Matthias[DE/DE]; DE (UsOnly)
WOLF, Andrej[DE/DE]; DE (UsOnly)
STRÜMPFEL, Johannes[DE/DE]; DE (UsOnly)
VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH[DE/DE]; Plattleite 19/29 01324 Dresden, DE (AllExceptUS)
Inventeurs : SMOLKE, Matthias; DE
KLOOSS, Matthias; DE
WOLF, Andrej; DE
STRÜMPFEL, Johannes; DE
Mandataire : ADLER, Peter; Lippert, Stachow & Partner Krenkelstraße 3 01309 Dresden, DE
Données relatives à la priorité :
10 2010 030 006.311.06.2010DE
Titre (EN) MODULAR-CONSTRUCTION VACUUM-COATING SYSTEM
(FR) DISPOSITIF DE REVÊTEMENT SOUS VIDE DE CONSTRUCTION MODULAIRE
(DE) VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGE IN MODULARER BAUWEISE
Abrégé : front page image
(EN) The invention, which relates to a modular-construction vacuum-coating system with a plurality of functional chambers which are arranged one behind the other along a longitudinal extent in which substrates are moved through the chambers in a substrate-transporting region, has the problem of lowering the production-related and installation-related outlay involved in supplying media to vacuum-coating systems. This problem is solved by a functional chamber, as a first sub-module, being arranged in a module which is provided with an outer interface which is the same for at least a second module.
(FR) L'invention concerne un dispositif de revêtement sous vide de construction modulaire comportant plusieurs chambres fonctionnelles disposées les unes derrière les autres dans une extension longitudinale dans laquelle des substrats sont déplacés à travers les chambres dans une zone de transport de substrat. L'invention vise à simplifier la fabrication et l'installation lors de l'alimentation en fluides de dispositifs de revêtement sous vide. A cet effet, une chambre fonctionnelle est disposée en tant que premier module partiel dans un module pourvu d'une interface extérieure identique pour au moins un deuxième module.
(DE) Der Erfindung, die eine Vakuumbeschichtungsanlage in modularer Bauweise mit mehreren funktionalen Kammern betrifft, die in einer Längerstreckung, in der Substrate in einem Substrattransportbereich durch die Kammern bewegt werden, hintereinander liegend angeordnet sind, liegt die Aufgabe zugrunde, den Herstellungs- und Installationsaufwand bei Medienversorgungen von Vakuumbeschichtungsanlagen zu senken. Dies wird dadurch gelöst, dass eine funktionale Kammer als erstes Teilmodul in einem Modul angeordnet ist, das mit einer für mindestens ein zweites Modul gleichen äußeren Schnittstelle versehen ist.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)