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1. (WO2011153839) GYROSCOPE ET PROCÉDÉ POUR LE FABRIQUER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2011/153839 N° de la demande internationale : PCT/CN2011/070635
Date de publication : 15.12.2011 Date de dépôt international : 26.01.2011
CIB :
G01C 19/02 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
C
MESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19
Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
02
Gyroscopes rotatifs
Déposants :
毛剑宏 MAO, Jianhong [CN/CN]; CN (UsOnly)
韩凤芹 HAN, Fengqin [CN/CN]; CN (UsOnly)
唐德明 TANG, Deming [US/CN]; CN (UsOnly)
上海丽恒光微电子科技有限公司 LEXVU OPTO MICROELECTRONICS TECHNOLOGY (SHANGHAI) LTD [CN/CN]; 中国上海市张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室 3000 LongDong Ave Building #5, Suite 501B, ZhangJiang High Tech Park Shanghai 201203, CN (AllExceptUS)
Inventeurs :
毛剑宏 MAO, Jianhong; CN
韩凤芹 HAN, Fengqin; CN
唐德明 TANG, Deming; CN
Mandataire :
北京集佳知识产权代理有限公司 UNITALEN ATTORNEYS AT LAW; 中国北京市朝阳区建国门外大街22号赛特广场7层 7th Floor, Scitech Place No.22, Jian Guo Men Wai Ave. Chao Yang District Beijing 100004, CN
Données relatives à la priorité :
201010200715.311.06.2010CN
Titre (EN) GYROSCOPE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
(FR) GYROSCOPE ET PROCÉDÉ POUR LE FABRIQUER
(ZH) 陀螺仪及其制造方法
Abrégé :
(EN) A gyroscope and a method for manufacturing the same are provided. The gyroscope comprises: a substrate (100), which is equipped with a bottom driving electrode (110) and a bottom measuring electrode (120) arranged surrounding the bottom driving electrode (110), and a dielectric layer (105) arranged on the substrate (100), in which a sealed cavity (130) is arranged. The sealed cavity (130) comprises: a central axis (140) arranged on the substrate (100); a support ring (150) which is arranged on the substrate (100) and can rotate around the central axis (140); a mass ring (170) which is arranged surrounding the support ring (150) and has the common central axis (140) with the support ring (150); cantilevers (160) which are connected with the support ring (150) and the mass ring (170) and support the mass ring (170) to be suspended in the closed cavity (130); elastic components (180) arranged in the area among the support ring (150), the mass ring (170) and two adjacent cantilevers (160); a top driving electrode (190) overlaying the support ring (150), the mass ring (170), the cantilevers (160) and the elastic components (180); a conductive plug (200) connected with the top driving electrode (190) on the elastic components (180) and the bottom driving electrode (110). The mass ring (170) comprises an insulation layer (1701) and a weight layer (1702) arranged under the insulation layer (1701). The stability and performance of the gyroscope have been improved greatly.
(FR) L'invention concerne un gyroscope ainsi qu'un procédé pour le fabriquer. Le gyroscope comprend : un substrat (100), équipé d'une électrode de commande inférieure (110) et d'une électrode de mesure inférieure (120) disposée de manière à entourer l'électrode de commande inférieure (110), et une couche diélectrique (105), disposée sur le substrat (100), dans laquelle est ménagée une cavité hermétique (130). La cavité hermétique (130) comprend : un axe central (140) disposé sur le substrat (100) ; une bague support (150) qui est disposée sur le substrat (100) et peut tourner autour de l'axe central (140) ; une bague de masse (170) qui est disposée de manière à entourer la bague support (150) et qui a l'axe central (140) en commun avec la bague support (150) ; des consoles (160) qui sont reliées à la bague support (150) et à la bague de masse (170) et supportent la bague de masse (170) à suspendre dans la cavité fermée (130) ; des composants élastiques (180) disposés dans la zone entre la bague support (150), la bague de masse (170) et deux consoles (160) adjacentes ; une électrode de commande supérieure (190) recouvrant la bague support (150), la bague de masse (170), les consoles (160) et les composants élastiques (180) ; une broche conductrice (200) reliée à l'électrode de commande supérieure (190) sur les composants élastiques (180) et à l'électrode de commande inférieure (110). La bague de masse (170) comprend une couche isolante (1701) et une couche de poids (1702) disposée sous la couche isolante (1701). La stabilité et les performances du gyroscope ont été grandement améliorées.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)