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1. (WO2011151165) DISPOSITIF DE COMMANDE ET/OU RÉGLAGE, TRAJECTOIRE DE COMMANDE, PROGRAMME INFORMATIQUE, SUPPORT D'INFORMATION LISIBLE PAR ORDINATEUR ET PROCÉDÉ POUR TÉLÉCHARGER LE PROGRAMME INFORMATIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2011/151165    N° de la demande internationale :    PCT/EP2011/057887
Date de publication : 08.12.2011 Date de dépôt international : 16.05.2011
CIB :
H01J 37/305 (2006.01), H01J 37/147 (2006.01), C23C 14/30 (2006.01), H01L 31/18 (2006.01), H01L 31/032 (2006.01)
Déposants : SULFURCELL SOLARTECHNIK GMBH [DE/DE]; Groß-Berliner Damm 149 12487 Berlin (DE) (Tous Sauf US).
44solar SARL [FR/FR]; 28 K, rue Morand F-44000 Nantes (FR) (Tous Sauf US).
BRESCH, Martin [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KESSLER, John [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
KÖHN, Daniel [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
MARIENFELD, Alexander [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
MEYER, Nikolaus [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
NEISSER, Axel [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : BRESCH, Martin; (DE).
KESSLER, John; (FR).
KÖHN, Daniel; (DE).
MARIENFELD, Alexander; (DE).
MEYER, Nikolaus; (DE).
NEISSER, Axel; (DE)
Mandataire : Gulde Hengelhaupt Ziebig & Schneider; Wallstraße 58/59 10179 Berlin (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2010 029 690.2 03.06.2010 DE
Titre (DE) STEUER- UND/ ODER REGELEINRICHTUNG, STEUERSTRECKE, COMPUTERPROGRAMM, COMPUTERLESBARES SPEICHERMEDIUM UND VERFAHREN DES HERUNTERLADENS DES COMPUTERPROGRAMMS
(EN) CONTROL AND/OR REGULATORY DEVICE, CONTROL PATH, COMPUTER PROGRAM, COMPUTER-READABLE STORAGE MEDIUM AND METHOD FOR DOWNLOADING THE COMPUTER PROGRAM
(FR) DISPOSITIF DE COMMANDE ET/OU RÉGLAGE, TRAJECTOIRE DE COMMANDE, PROGRAMME INFORMATIQUE, SUPPORT D'INFORMATION LISIBLE PAR ORDINATEUR ET PROCÉDÉ POUR TÉLÉCHARGER LE PROGRAMME INFORMATIQUE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Steuer- und/oder Regeleinrichtung, insbesondere für die Herstellung von Dünnschichtsolarmodulen. Die erfindungsgemäße Steuer- und/oder Regeleinrichtung ist für eine Mehrzahl von Elektronenstrahlern zur Bestrahlung von zu erwärmenden Material in einem Tiegel ausgelegt und weist einen maschinenlesbaren Programmcode auf, welcher Steuerbefehle aufweist, die die Steuer- und/oder Regeleinrichtung zur Durchführung eines Verfahrens zur Herstellung von Gegenständen mit einer mittels Verdampfung aufgebrachten Materialschicht veranlassen. Insbesondere dient dieses Verfahren zur Herstellung von Dünnschicht-Solarmodulen mittels eines Elektronenstrahlverdampfers. Ein solcher Elektronenstrahlverdampfer umfasst zwei oder mehr Elektronenstrahler, die jeweils einen Strahlerzeuger und eine entsprechend einem vorgebbaren Ablenkmuster steuerbar ausgelegte Ablenkeinheit aufweisen, wobei die Ablenkeinheit den Elektronenstrahl in einer Bestrahlungsebene sowohl in x-Richtung, als auch in y-Richtung ablenken kann. Bei dem Herstellungsverfahren werden mehrere Elektronenstrahlen erzeugt und mittels der Elektronenstrahlen wird eine Bestrahlung von zu erwärmenden Material durch Ablenkung der Strahlen in x- und y-Richtung vorgenommen, wobei der Elektronenstrahl wenigstens eines ersten Elektronenstrahlers in y-Richtung derart abgelenkt wird, dass die mit diesem ersten Elektronstrahler erzeugte Bestrahlung an die Bestrahlungsebene eines benachbarten Elektronenstrahlers angrenzt oder diese überlappt, so dass das bestrahlte Material erwärmt wird und zumindest teilweise verdampft und der Dampf dem zu bedampfenden Gegenstand zugeleitet wird. Ergänzt wird die Erfindung durch eine Steuerstrecke, ein Computerprogramm, ein computerlesbares Speichermedium und ein Verfahren des Herunterladens des Computerprogramms.
(EN)The invention relates to a control and/or regulatory device, particularly for the production of thin-film solar modules. The control and/or regulatory device according to the invention is designed for a plurality of electron guns for irradiating material to be heated in a crucible and has machine-readable program code which has control commands which prompt the control and/or regulatory device to perform a method for producing articles having a material layer applied by means of vaporization. In particular, this method is used for producing thin-film solar modules using an electron beam vaporizer. An electron beam vaporizer of this kind comprises two or more electron guns which each have a beam generator and a deflection unit which is designed to be able to be controlled in accordance with a prescribed deflection pattern, wherein the deflection unit can deflect the electron beam in an irradiation plane both in the x direction and in the y direction. The production method involves a plurality of electron beams being produced and the electron beams being used to irradiate material which is to be heated by deflecting the beams in the x and y directions, wherein the electron beam from at least a first electron gun is deflected in the y direction such that irradiation produced by means of this first electron gun adjoins or overlaps the irradiation plane of an adjacent electron gun, such that the irradiated material is heated and is at least partially vaporized and the vapour is routed to the article which is to be subjected to vapour deposition. The invention is completed by a control path, a computer program, a computer-readable storage medium and a method for downloading the computer program.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de commande et/ou réglage, destiné notamment à la réalisation de modules solaires à couche mince. Le dispositif de commande et/ou réglage selon l'invention est conçu pour une pluralité de faisceaux d'électrons destinés à être appliqués à une matière à chauffer dans un creuset et présente un code de programme lisible par machine qui présente des ordres de commande qui font que le dispositif de commande et/ou réglage exécute un procédé de réalisation d'objets présentant une couche de matière appliquée par vaporisation. Ce procédé sert notamment à la réalisation de modules solaires à couche mince au moyen d'un évaporateur à faisceaux d'électrons. Un tel évaporateur à faisceaux d'électrons comprend au moins deux émetteurs de faisceaux d'électrons qui présentent respectivement un dispositif de production de faisceaux et une unité de déflexion conçue pour pouvoir être commandée en fonction d'un motif de déflexion qui peut être prédéterminé, l'unité de déflexion pouvant dévier le faisceau d'électrons dans un plan de rayonnement que ce soit dans la direction x ou dans la direction y. Dans le cadre du procédé de réalisation, plusieurs faisceaux d'électrons sont produits et la matière à chauffer est exposée aux faisceaux d'électrons, par déflexion des faisceaux dans la direction x et la direction y, le faisceau d'électrons d'au moins un premier émetteur de faisceau d'électrons étant dévié dans la direction y de sorte que l'exposition produite avec ce premier émetteur de faisceau est adjacente au plan d'exposition d'un émetteur de faisceau d'électrons voisin ou se recouvre avec celui-ci de sorte que la matière exposée au rayonnement se trouve chauffée et au moins partiellement vaporisée et la vapeur est amenée jusqu'à l'objet à vaporiser. L'invention a également pour objet une trajectoire de commande, un programme informatique, un support d'informations lisible par ordinateur et un procédé pour télécharger le programme informatique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)