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1. (WO2011151109) POLYMÈRE AUTO-ASSEMBLABLE ET PROCÉDÉ D'UTILISATION EN LITHOGRAPHIE

Pub. No.:    WO/2011/151109    International Application No.:    PCT/EP2011/056308
Publication Date: Fri Dec 09 00:59:59 CET 2011 International Filing Date: Thu Apr 21 01:59:59 CEST 2011
IPC: C08F 293/00
G03F 7/00
B81C 1/00
B82Y 10/00
B82Y 30/00
Applicants: ASML Netherlands B.V.
PEETERS, Emiel
WUISTER, Sander
KOOLE, Roelof
Inventors: PEETERS, Emiel
WUISTER, Sander
KOOLE, Roelof
Title: POLYMÈRE AUTO-ASSEMBLABLE ET PROCÉDÉ D'UTILISATION EN LITHOGRAPHIE
Abstract:
L'invention porte sur un polymère auto-assemblable, ayant des première et seconde configurations moléculaires, la première configuration moléculaire ayant un paramètre de Flory Huggins, pour le polymère auto-assemblable, supérieur à celui de la seconde configuration moléculaire, et le polymère auto-assemblable pouvant être configuré de la première configuration moléculaire à la seconde configuration moléculaire, de la seconde configuration moléculaire à la première configuration moléculaire, ou les deux, par l'application d'un stimulus. Le polymère peut être utilisé dans un procédé consistant à disposer sur un substrat une couche du polymère, ordonnée et à motif périodique, par mise en ordre et recuit du polymère dans sa seconde configuration moléculaire, et durcissement du polymère quand il se trouve dans la première configuration moléculaire. La seconde configuration moléculaire fournit une meilleure cinétique de mise en ordre et permet le recuit de défauts au voisinage de sa température de transition ordre/désordre, tandis que la première configuration moléculaire, à une température de transition ordre/désordre plus élevée, réalise une faible rugosité de flanc/largeur de ligne, pour le motif formé après durcissement.